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1)  detection of gratings mask
光栅掩膜检测
2)  grating check
光栅检测
1.
A design method of microcomputer closed-loop scanning and control system based on grating check is presented.
提出了一种基于光栅检测的单片机闭环扫描控制系统的设计方案。
3)  grating measuring device
光栅检测机
4)  Grating Masks
光栅掩模
1.
The Control Study of Profiles of Photoresist Grating Masks;
光刻胶光栅掩模槽形的控制研究
5)  Grating Measure Technique
光栅检测技术
6)  optical grating bit shift detection
光栅位移检测
补充资料:掩模版保护膜
分子式:
CAS号:

性质:一种很薄的光学透明膜,一般由硝化纤维组成。将该透明膜黏附在框架上,由框架来支承,并黏附在光掩模版(或光掩模中间板)上。它的目的是密封,防止沾污物,减少由曝光系统图像平面中的污染而引起的光刻缺陷。

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参考词条