1) nitrogen_depped amorphous hydrogenated carbon films
掺氮非晶碳氢膜
2) a_-C:F:N films
氮掺杂氟化非晶碳薄膜
3) a-C∶Br∶H
掺溴非晶碳氢薄膜
1.
Bromine doped hydrogenated amorphous carbon(a-C∶Br∶H)thin films were deposited on silicon wafers by rf.
56MHz射频等离子体化学气相淀积方法(RF-PECVD)在硅片衬底上生长了掺溴非晶碳氢薄膜(a-C∶Br∶H)。
4) a-C:H film
非晶碳氢膜
1.
An amorphous hydrogenated carbon thin film(a-C:H film) on polyethyle-neterephthalate (PET) was fabricated by plasma-enhanced chemical vapor deposition(PECVD) with methane as the source of carbon , argon as dilution gas.
本课题采用射频等离子体增强化学气相沉积法(PECVD),以甲烷气体为碳源,氩气为稀释气体,在聚酯(PET)上沉积非晶碳氢膜。
5) a-Si:H film
掺氢非晶硅薄膜
6) Cr-doped amorphous carbon film
掺铬非晶碳膜
补充资料：氮氢分离膜
分子式：
CAS号：
性质：氢气和氮气透过时，其分离系数大于1，而能使氢气富集的气体分离膜。膜材料大都为聚砜、乙酸纤维素酯、聚酰亚胺、聚4-甲基-1-戊烯等。其几何形状都是中空纤维型的，主要用于回收合成氨厂的合成氨弛放气中的氢，也可用于石油化工厂和炼油厂等多种气体混合物中分离氢。使用时一般都在13MPa左右的高压下操作，回收率在95%以上，回收氢的平均纯度接近90%。所以要求氮氢分离膜能耐高压、高温，分离系数必须大于120，渗透速率也要求较高，才具有工业使用价值。
CAS号：
性质：氢气和氮气透过时，其分离系数大于1，而能使氢气富集的气体分离膜。膜材料大都为聚砜、乙酸纤维素酯、聚酰亚胺、聚4-甲基-1-戊烯等。其几何形状都是中空纤维型的，主要用于回收合成氨厂的合成氨弛放气中的氢，也可用于石油化工厂和炼油厂等多种气体混合物中分离氢。使用时一般都在13MPa左右的高压下操作，回收率在95%以上，回收氢的平均纯度接近90%。所以要求氮氢分离膜能耐高压、高温，分离系数必须大于120，渗透速率也要求较高，才具有工业使用价值。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条