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1)  Single wafer epi equipment
单片式外延炉
2)  vertical epitaxial furnace
立式外延炉
3)  horizontal epitaxial furnace
卧式外延炉
4)  cylinder epitaxial furnace
桶式外延炉
5)  GaAs epitaxial plate
GaAs外延片
6)  epitaxial wafer
外延片
1.
In the test, microscopical photoluminescence in the cross sections of epitaxial wafers different thickness have been compared.
用微区光致发光和拉曼散射光谱比较了国内外GaP:ZnO红光二极管产品的结构,在国内首先实现了用微区光学方法检测LED外延片并进行生产工艺的改进。
补充资料:工业炉:井式炉

        具有垂直炉膛﹑用於长杆形工件热处理的工业炉。炉膛截面一般为圆形﹐直径为0.5~4.5米﹐炉膛最深可达30餘米。长杆形工件﹐如炮筒﹑汽轮机主轴﹑发电机转子﹑船舶主轴等﹐在井式炉内是垂直放置加热的﹐可避免发生弯曲变形。井式炉的炉口设在炉顶上﹐工件由专用吊具垂直悬掛在炉膛内。专门的起重设备能快速装入和吊出工件(见彩图 第一重型机器厂的22米井式炉正在为发电机转子淬火


井式炉的结构示意图 )。为操作方便和减低厂房高度﹐炉体一般全部地或部分地安装在地下。即使如此﹐装有特深井式炉的厂房﹐仍需要建得很高。中国第二重型机器厂的直径 1.8米﹑深30米的井式炉﹐深入地下33.5米﹐所用150吨桥式起重机的轨面高度达36米﹐厂房下沿标高达42米。与井式炉配套时﹐还应建有同样深的淬火冷却水槽和油槽﹐以及吹风或喷雾冷却的装置。
         对特长工件进行淬火时﹐最先被吊出炉外的工件顶部最后才浸入冷却液内﹐而最后吊出的工件下部却最先浸入﹐工件受热不均﹐影响淬火质量。通常的措施是将炉膛上下部分别控制到不同的温度来补偿。自20年代起﹐航空工业使用一种从炉底装卸工件的井式炉﹐用电热元件加热﹐炉底全部建在地面以上并可在地面轨道上左右移动。加热后的工件随炉子一起移至油槽或水槽上方﹐然后开动炉顶上的捲扬机把工件从炉内通过炉底门﹐快速浸入冷却槽内冷却。工件从出炉到进入冷却槽的整个过程和在空气中停留的时间都很短﹐因而氧化少﹐温降小﹐上下部温降速度基本一致﹐可保证淬火质量。
         井式炉可用气体或液体燃料﹐也可用电加热。用气体燃料时﹐通常有多个小能量的烧嘴﹐沿炉膛内壁切线方向安装﹐在高度上按分层或呈螺旋形均匀布置﹐以避免火焰直接冲刷工件﹐保证炉内温度均匀。当用於低温回火或以油为燃料时﹐则在炉膛内砌有薄的马弗墙﹐把燃烧空间与加热空间隔开﹐但有马弗墙的井式炉﹐燃料耗量较大。
         小型井式炉多採用电加热﹐多数还带有特製的金属马弗罐﹐可进行气体渗碳﹑渗氮﹑碳氮共渗﹑光亮退火等热处理。在电源充足的地区﹐或者要求精确控制炉温的大型井式炉﹐更适於採用电能。

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