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1)  nc-Si/SiN_x superlattice thin film
nc-Si/SiN_x超晶格薄膜
2)  Amorphous SiN_x Films
SiN_x非晶薄膜
1.
Structures Analysis and Luminescence Characteristics of Amorphous SiN_x Films Prepared by Magnetron Sputtering;
磁控溅射法所沉积SiN_x非晶薄膜的结构分析及发光特性研究
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3)  nc-Si/SiNx films
nc-Si/SiNx薄膜
4)  nc-Si/SiO_2 thin film
nc-Si/SiO_2薄膜
5)  nc-Si∶H films
nc-Si∶H薄膜
6)  nc-poly-Si(B)films
nc-poly-Si(B)薄膜
补充资料：A和B交替生长的超晶格结构


A和B交替生长的超晶格结构


　　A和B交替生长的超晶格结构层厚：黑2帆A 白30A B中周科学院十导体研究所供稿
　　
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