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1)  HfOxNy thin films
氮氧化铪薄膜
1.
HfOxNy thin films were deposited by radio frequency reactive magnetron sputtering onto multi-spectral ZnS substrates at different oxygen partial pressure.
用磁控反应溅射法在不同氧分压下制备了氮氧化铪薄膜
2.
HfOxNy thin films were deposited by RF reactive magnetron sputtering on multi-spectral ZnS substrates at different oxygen partial pressure.
采用射频磁控反应溅射法在不同氧分压条件下制备了氮氧化铪薄膜,薄膜沉积过程在氧气、氮气和氩气的混合气氛中进行,所用衬底为多光谱硫化锌材料。
2)  HfON protective films
氮氧化铪保护膜
3)  HfTiON
氮化氧化钛铪
4)  Si Ox Ny thin film
氮氧化硅薄膜
5)  oxynitride film
氮氧化合物薄膜
6)  SiOxNy films
硅氧氮薄膜
补充资料:氧化铪
CAS:12055-23-1
分子式:HfO2
分子质量:210.48
熔点:2812℃
中文名称:氧化铪
英文名称:hafnium oxide;hafnium oxide
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参考词条