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1)  Soft lithography
软刻蚀
1.
Reverse reposition imaging technique of AFM used to compare the topography of the master,stamp and the pattern in soft lithography;
用于软刻蚀复型及转印前后形貌比较的反向重定位AFM成像方法
2.
Soft lithography—A new microfabrication and microstructure copying method;
软刻蚀——图形转移和微制造新工艺
3.
A series of grating microstructure surfaces with different parameters have been designed and fabricated by soft lithography.
设计并利用软刻蚀技术制备了一系列不同参数的光栅微结构表面,对水滴在这些非光滑表面上的接触角进行测量,测量结果表明材料表面几何结构直接影响接触角的大小,通过设计微结构的几何参数可以获得理想的超疏水材料。
2)  Thin layer soft lithography
薄层软刻蚀
3)  soft ground etching
软基底蚀刻画
4)  photoetching cellulose film (PCF)
光刻蚀纤维素软片(PCF)
5)  photoetching cellulose film
光刻蚀纤维素软片
6)  etching [英]['etʃɪŋ]  [美]['ɛtʃɪŋ]
刻蚀
1.
The quality study on excimer laser-induced electrochemical etching of silicon;
准分子激光电化学刻蚀硅的刻蚀质量研究
2.
Chemically etching vapor-deposited diamond films by using hydrogen plasma under graphitization effect of iron;
氢等离子体在铁催石墨化作用下对CVD金刚石膜的刻蚀
3.
Etching of a diamond film by oxygen plasma;
氧等离子体对金刚石膜的刻蚀研究
补充资料:电化学刻蚀
分子式:
CAS号:

性质:也称电解浸蚀。在一定的电解液中,采用电化学原理选择性地除去某种金属(或半导体)的过程。可外加电压(为电刷镀的逆过程)或不外加电压(化学刻蚀)。影响电化学蚀刻的因素有电场强度和频率、探测器厚度、蚀刻液浓度和径迹倾角等。化学刻蚀法使用较多,例如在印刷电路板的制作中,通过如下反应:Cu→Cu2++2e-(阳极) ;2Fe3++2e-→2Fe2+(阴极)。按预作保护的图样除去绝缘基板上的铜覆盖层。在微电子装置的制作中,对半导体(如硅)选择性地刻蚀是关键步骤。常用的刻蚀剂有CuCl2,FeCl3,H2CrO4,NH4Cl,H2O2-H2SO4等。

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参考词条