1)  CVD ZnS
CVD ZnS
1.
Preparation of CVD ZnS polycrystalline material for infrared optics;
红外用CVD ZnS多晶材料的研制
2)  ZnS
硫化锌
1.
Design and Depositing of Diamond-like-CarbonOn Hot-press ZnS-sub;
热压硫化锌基底上类金刚石膜的设计与实现
2.
Preparation of ZnS Hollow Nanospheres Using Dendrimer as Template;
树形分子为模板低温制备纳米硫化锌空心球
3.
Study on the preparation of nanometer ZnS by liquid phase precipitation method;
液相沉淀法制备纳米硫化锌的研究
3)  ZnS
Zns
1.
Chemical Bath Deposition of ZnS Thin Films and Its Optical Properties;
ZnS薄膜的水浴法制备及其光学性能
2.
Synthesis, Structure and Growth Mechanism of ZnS Nanowires with High Aspect Ratio;
大长径比ZnS纳米线的制备、结构和生长机理
3.
Effect of preparation condition on the crystal style and luminescence of Mn-doped ZnS nanoparticles;
制备条件对ZnS∶Mn纳米晶晶体结构和发光性质的影响
4)  ZnS
硫化锌法
5)  CVD
CVD
1.
Analysis and Verification of Silicon Nitride Super-micro Powder Synthesis with FBR-CVD Technique;
流态床CVD法制氮化硅超微粉过程分析及实验验证
2.
Preparation of B-C system materials by CVD;
CVD法制备B-C体系材料
3.
EBSD study of CVD-W grain orientation and grain boundary;
CVD-W晶粒取向和晶界结构的EBSD研究
6)  CVD
化学气相沉积
1.
Growth of carbon nanotubes on SiO_2-particle substrates via CVD method;
利用化学气相沉积法在SiO_2小球基底上制备纳米碳管的研究(英文)
2.
Research Status on the Adhesion between Substrate and Diamond Film Deposited by CVD;
化学气相沉积金刚石薄膜刀具膜/基附着性能研究现状
3.
Study on CVD for Tungsten Coating and Capability of its Anti-ablation;
化学气相沉积钨涂层及抗烧蚀性能研究
参考词条
补充资料:CVD
分子式:
CAS号:

性质:利用气相化学反应在基底上沉积另一种固体材料的方法,常用于制取固体薄膜。化学气相沉积过程包括气相反应物的生成、气相反应物的输运和沉积。利用化学气相沉积方法可以得到从非晶态、晶态到外延单晶薄膜等各种材料,是一种应用非常广泛的化学合成方法。化学气相沉积还可以用于制备多种高熔点化合物薄膜。例如,高熔点的四氮化三硅可以利用氨和硅烷反应得到。其他如二氧化硅和氧化铝等薄膜也可以用此法制取。化学气相沉积在半导体材料和器件的制备中具有重要的用途。在半导体器件的制备中常常需要在半导体表面生长一定厚度的另一种电学性能不同的半导体单晶薄膜,这种薄膜可以利用化学气相沉积或化学气相外延的方法制取。

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