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1)  MEMS (Micro Electro Mechanical System )
微型机电系统(MEMS)
2)  microelectromechanical systems(MEMS)
微机电系统(MEMS)
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3)  MEMS
微机电系统(MEMS)
1.
MEMS , owning the advantages of ultra fine integrate process , miniaturization、low cost、high reliability and batch manufacturing, pose very promising future in the micro electric contact device.
微机电系统(MEMS)技术凭借其超精密集成加工的特点,具有微型化、低成本、高可靠性和可大批量生产等优势,在微电接触器件领域大有可为。
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4)  micro electro-mechanical system(MEMS)
微机电系统(MEMS)
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5)  micro-electro-mechanical system(MEMS)
微机电系统(MEMS)
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6)  microelectromechanical system(MEMS)
微机电系统(MEMS)
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补充资料：微型
小型；体积比较小的：微型雕刻｜微型飞机。
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