1) micro electro-mechanical system
微型机械电子系统
1.
The micro electro-mechanical system(MEMS) and integrated circuit technology were adopted to manufacture the solid piezoresistive silicon flat chip with high precision and sensitivity,and packaged on the concentrated stress location of an elastic beam by glass powder sintering,and the special piezoresistive acceleration sensor was developed with th.
采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精度、高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片,通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,利用激光焊接工艺,制造了量程为±20 km/s2、过载能力为30倍满量程的特种压阻式加速度传感器。
2) micro electromechanical system (MEMS)
微机械(微电子机械系统)
3) Micro Electro Mechanical Syetem (MEMS)
微电子机械系统(微机械)
4) MEMS
微电子机械系统
1.
The Development Situation of MEMS;
微电子机械系统(MEMS)发展研究
2.
STUDY ON THE MICRO-TORQUE MEASUREMENT FOR MICRO-ACTUATORS IN MEMS;
微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究
3.
Application and Package of Military MEMS;
军用微电子机械系统的应用及封装
5) Micro electro mechanical system
微电子机械系统
1.
Micro electro mechanical systems (MEMS) are the micro mechatronics fabricated by microelectronic technology and micromachining.
微电子机械系统 (MEMS)是结合微电子技术和微机械加工技术制造而成的微型机电一体化系统。
6) MEMS
微机械电子系统
1.
Ultra-Solid-Lubrication and Its Application Prospect in MEMS;
超固体润滑及其在微机械电子系统中的应用前景
补充资料：微型计算机系统
简称“微机系统”。由微型计算机、显示器、输入输出设备、电源及控制面板等组成的计算机系统。配有操作系统、高级语言和多种工具性软件等。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条