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1)  micro-opto-electro-mechanical system(MOEMS)
微型光机电系统(MOEMS)
1.
A micro-opto-electro-mechanical system(MOEMS) pressure sensor based on Mach-Zehnder interferometer(MZI) is designed and the operation principle is presented in this paper.
设计了马赫-曾德尔干涉仪(MZI)型微型光机电系统(MOEMS)压力传感器,探讨了工作原理,分析了弹性薄膜尺寸对应力的影响和波导中TE、TM模式的光对波导折射率的影响。
2)  MOEMS
微光机电系统(MOEMS)
3)  micro-optical-electro-mechanical system (MOEMS) optical switch
微光机电系统(MOEMS)光开关
4)  micro-opto-electro-mechanical system technology
微光机电系统(MOEMS)技术
5)  MOEMS
微型光机电系统
1.
A Testing Method for a MOEMS Optical Switch Using CCD;
采用CCD技术的微型光机电系统光开关测试方法
6)  micro thermophotovoltaic
微型热光电系统
补充资料:微型
小型;体积比较小的:微型雕刻|微型飞机。
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参考词条