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1) Micro-Optical-Electro-Mechanical System(MOEMS)
微光电机系统
2) MOEMS
微光机电系统
1.
A design of micro-machining based digital micro-optical-electro-mechanical systems(MOEMS) variable optical attenuator was reported for digitally adjusting optical attenuation.
为了实现数字化电控调节光衰减量,提出一种电磁线圈驱动的微光机电系统(MOEMS)可调光衰减器,该衰减器主要通过电磁力步进驱动微加工齿轮/齿条机构,带动偏心轮,从而移动挡光片调节光衰减量,实现单模光纤中光传输功率的数字化电控调节。
2.
As an important part of MOEMS, reflection mode MOEMS has emerged as a research area developing at full speed.
反射式微光机电系统是微光机电系统中的重要组成部分,近年来得到了较快的发展。
3.
Two-dimensional scanning mirror is a new kind of deflection scanning device based on micro-optical-electro-mechanical system (MOEMS) technology, which has great advantages over the conventional scanning mechanisms with small volume, low power consumption and high scanning frequency.
微型二维扫描镜是一种基于微光机电系统(MOEMS)技术的新型偏转扫描装置,与传统扫描装置相比具有体积小、功耗低、扫描频率高等优点。
3) micro-opto-electro-mechanical system
微光机电系统
1.
An GaAs-based micro-opto-electro-mechanical system(MOEMS)cantilever tunable light emitting diode was presented.
采用微机械表面加工技术,成功设计并研制出具有GaAs基微光机电系统(MOEMS)悬臂梁结构的可调谐微腔发光二极管。
4) MOEMS
微型光机电系统
1.
A Testing Method for a MOEMS Optical Switch Using CCD;
采用CCD技术的微型光机电系统光开关测试方法
5) MOEMS
微光电机械系统
1.
Applications of MOEMS in Optical Communication;
微光电机械系统在光通信中的应用
2.
55 μm MOEMS wavelength tunable filters are introduced,and the optical and electromechanical properties are simulated by using matrix transmittance theory and a electric-mechanical model of cantilever.
55μm微光电机械系统(MOEMS)波长可调谐滤波器的光学和电学特性进行了深入的对比分析和研究。
3.
The Introduction of Novel Materials That Enable Temporary Bonding, Front-side Etch Protection, and MOEMS Packaging;
最后,介绍了高透明高折射材料,这些材料用在高亮度发光二极管(HB-LED)和微光电机械系统(MOEMS)中,可以降低由封装引起的光损耗。
6) Micro opto electro mechanical systems(MOEMS)
微光学机电系统
补充资料：步进电机和交流伺服电机比较选择
【iEicn.com编者按】 步进电机是一种离散运动的装置，它和现代数字控制技术有着本质的联系。在目前国内的数字控制系统中，步进电机的应用十分广泛。随着全数字式交流伺服系统的出现，交流伺服电机也越来越多地应用于数字控制系统中。为了适应数字控制的发展趋势，运动控制系统中大多采用步进电机或全数字式交流伺服电机作为执行电动机。虽然两者在控制方式上相似（脉冲串和方向信号），但在使用性能和应用场合上存在着较大的差异。现就二者的使用性能作一比较。 1.控制精度不同
两相混合式步进电机步距角一般为3.6°、 1.8°，五相混合式步进电机步距角一般为0.72 °、0.36°。也有一些高性能的步进电机步距角更小。如四通公司生产的一种用于慢走丝机床的步进电机，其步距角为0.09°；德国百格拉公司（BERGER LAHR）生产的三相混合式步进电机其步距角可通过拨码开关设置为1.8°、0.9°、0.72°、0.36°、0.18°、0.09°、0.072°、0.036°，兼容了两相和五相混合式步进电机的步距角。
交流伺服电机的控制精度由电机轴后端的旋转编码器保证。以松下全数字式交流伺服电机为例，对于带标准2500线编码器的电机而言，由于驱动器内部采用了四倍频技术，其脉冲当量为360°/10000=0.036°。对于带17位编码器的电机而言，驱动器每接收217=131072个脉冲电机转一圈，即其脉冲当量为360°/131072=9.89秒。是步距角为1.8°的步进电机的脉冲当量的1/655。
2.低频特性不同
步进电机在低速时易出现低频振动现象。振动频率与负载情况和驱动器性能有关，一般认为振动频率为电机空载起跳频率的一半。这种由步进电机的工作原理所决定的低频振动现象对于机器的正常运转非常不利。当步进电机工作在低速时，一般应采用阻尼技术来克服低频振动现象，比如在电机上加阻尼器，或驱动器上采用细分技术等。
交流伺服电机运转非常平稳，即使在低速时也不会出现振动现象。交流伺服系统具有共振抑制功能，可涵盖机械的刚性不足，并且系统内部具有频率解析机能（FFT），可检测出机械的共振点，便于系统调整。
3.矩频特性不同
步进电机的输出力矩随转速升高而下降，且在较高转速时会急剧下降，所以其最高工作转速一般在300～600RPM。交流伺服电机为恒力矩输出，即在其额定转速（一般为2000RPM或3000RPM）以内，都能输出额定转矩，在额定转速以上为恒功率输出。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条
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