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1)  non-silicon micromachining technology
非硅微加工
1.
Moreover,the stainless steel μ-DMFC is fabricated using a non-silicon micromachining technology,and it can offer an open circuit voltage of 650 mV and a peak power density of 15.
9mW/cm2;利用非硅微加工技术完成的不锈钢微型直接甲醇燃料电池,在室温下用2mol/L甲醇溶液供液时开路输出电压为650mV,最大输出功率密度达到15。
2)  non-silicon surface micromachining
非硅表面微加工
1.
Design and dynamics simulation of MEMS inertia micro-switch based on non-silicon surface micromachining;
基于非硅表面微加工的MEMS惯性开关设计与动力学仿真
3)  silicon micromachining
硅微加工
4)  micromechanical silicon
微加工硅
5)  Si micromachining
硅微细加工
6)  bulk silicon micromachining
体硅微加工工艺
补充资料:PCB加工表面处理使用研磨轮的运用

在PCB制造过程中用到的研磨刷辊按功能可分为两类,即研磨刷辊和清洗刷辊,而研磨刷辊则占绝大多数,清洗刷辊仅在成品最后清洗或研磨后最后清洗用到,数量比较少,因此统称为研磨刷辊。 研磨刷辊按使用材质又分为:尼龙针刷辊、不织布刷辊和陶瓷刷辊三大类,它们在使用上各有特点。


  尼龙针刷辊作为PCB制造行业最早采用的刷辊,具有悠久的历史。按制造工艺不同又分为钢带缠绕式、编织式、开槽嵌入式、圆孔嵌入式和胶板植入式五种。其中钢带缠绕式、编织式和圆孔嵌入式三种制造工艺可保证尼龙针刷丝的丝密度又可控制尼龙针刷丝的均匀性,因此完全可以满足各类客户的不同需求。


  尼龙针刷辊按尼龙针刷丝含磨料不同又分为碳化硅(SIC)磨料类、氧化铝(AO)磨料类和纯尼龙类,不论是碳化桂还是氧化铝(AO)磨料其粒度分布范围皆是:60#、80#、100#、120#、150#、180#、 240#、320#、400#、500#、600#、800#、1000#、1200#、1500#。


  尼龙针刷辊的特点是使用寿命长,研磨效果适中,特别适用于线宽/线距(L/S)≥200um(=8mil),铜箔厚度》=35um条件下的PCB制造过程中的表面处理。在早期的PCB制造业中扮演了重要的角色。但随着近期PCB用户对线宽/线距(L/S)越来越精细的要求,尼龙针刷所特有的划痕较严重,对线条冲击力较大从而极易造成微丝桥接、断线等缺陷就明显表现出来了。 不含磨料的纯尼龙针刷辊如火山灰刷辊或浮石粉刷辊,由于尼龙针刷丝的选用和设备的改进,完全可用于较细线条如75um-150um(3-6mil)线宽的PCB的研磨。 相对于不织布刷辊来说尼龙针刷辊研磨没有不织布刷辊研磨精细均匀。且磨刷度方面略逊色于不织布刷辊。但尼龙刷辊在刷丝部份缺失的情况下不会造成在线路板板面有明显的磨刷不均匀的现象,因为尼龙刷辊的柔韧性所以操作不当使磨刷压力过高的情况下线路板报废情况较少.


  不织布刷辊是PCB制造业较晚选用的一类刷辊,按制造工艺不同分为辐射状(Flap type),圆片状(Disk type)和整体海绵状(Sponge type)三类。GSH牌不织布刷辊采用的是前两种制作结构即辐射状(Flap type)和圆片状(Disk type) ,因材料、密度和处理工艺的不同搭配,故而可满足各类客户的不同需求。


  不织布刷辊按不织布含磨料的不同又分为碳化硅(SIC)磨料类、氧化铝(AO)磨料类和纯不织布类。不论是碳化硅(SIC)还是氧化铝(AO)磨料其粒度分布范围皆是:60#、80#、100#、120#、150#、 180#、240#、320#、400#、500#、600#、800#、1000#、1200#、1500#。不织布刷辊的特点是研磨精细,所处理的表面精糙度均匀一致,从而能明显提高光敏膜和绿油膜的附着力,特别适用于线宽/线距(L/S)≤100um(=4mil),铜箔厚度≤35um的PCB的制造。在钻孔后毛刺(burr)去除、光敏膜前处理和绿油(防氧化)前处理领域有其卓越的表现。特别是绿油(防氧化)前处理工序,不织布刷辊对于板面较硬的毛刺及污染去处力度较强,缺点遇到不织布刷辊由于一些原因造成的表面缺损时,线路板表面会有明显的无法刷到的痕迹,往往造成整个刷辊报废。其次如果刷板机的循环水处理不好、高压清洗的水压不高时,从不织布上磨下的磨料会堵住喷嘴,高压水冲洗不干净会造成线路板堵孔,导致线路板在后到工序报废。但是它研磨精细已证明会提高成品率或减少短路、断路及电气测试NG10%-15%以上。另外不织布刷辊寿命比尼龙刷辊的寿命短,从而研磨成本高,但若计算到提高产品成品率这一点还是值得的。


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