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1)  chemical vapor deposition silicon carbide
化学气相沉积碳化硅
1.
To realize the super-smooth polishing of chemical vapor deposition silicon carbide(CVD SiC),nano-scratch test is applied to study the critical load for brittle-ductile transition,and its polishing mechanism is analyzed according to the force on an abrasive grain.
为实现化学气相沉积碳化硅(CVD SiC)的超光滑抛光,采用纳米划痕试验研究了化学气相沉积碳化硅脆塑转变的临界载荷,根据单颗磨粒受力对其抛光机理进行了分析,并从材料特性、工艺参数以及抛光液pH值三个方面对其表面粗糙度影响因素进行了系统的试验研究。
2)  CLD modification
化学气相硅沉积
1.
SiO2-CLD modification for ZSM-5 acidity was investigated by pyrolysis gas chromatography-mass spectrometer (PGC-MS), Py-IR, NH3-TPD.
目前,各种改性方法已被用于提高ZSM-5的选择性,例如金属、非金属化合物的浸渍,化学气相硅沉积(SiO2-CVD)和预结焦处理等1。
3)  vapo(u)r deposition carbon fiber
化学气相沉积碳纤维
4)  carbon-assisted CVD method
碳辅助化学气相沉积法
1.
High-density SiO_x nanowires were fabricated on a large-scale using carbon-assisted CVD method by Fe—Al—O catalyst at 1140℃ in flowing N_2/H_2,N_2 and NH_3 atmospheres.
以N2/H2、N2或NH3为载气,利用碳辅助化学气相沉积法,常压1140℃下在石英衬底上制备了大量直径为20—300nm,长数百微米的非晶SiOx纳米线。
5)  method SiC fiber reinforced intermetallic compound matrix composite CVD
化学气相沉积碳化硅纤维增强金属间化合物复合材料CVD
6)  chemical vapor deposition
化学气相沉积
1.
Study on PPy/UHMWPE fiber prepared by chemical vapor deposition;
化学气相沉积PPy/UHMWPE纤维的研究
2.
Preparation of In_2O_3 nanowires by single-source chemical vapor deposition method;
单源化学气相沉积法制备In_2O_3纳米线
3.
Dielectric properties of aluminum-doped silcion carbide using chemical vapor deposition;
化学气相沉积铝掺杂碳化硅的微波介电特性
补充资料:化学气相沉积碳化硅纤维增强金属间化合物复合材料CVD
分子式:
CAS号:

性质:碳化硅连续纤维增强金属间化合物基体的金属基复合材料。碳化硅纤维一般选用SCS-6,其体积含量一般约40%左右。金属间化合物基体主要是各种铝化物,有代表性的金属间化合物基体如钛铝化合物牛的Ti3Al基合金,复合材料如SCS-6/Ti-24Al-11Nb。此类复合材料的制备工艺主要有真空热压、热等静压、超塑成型/扩散结合和电子束气相沉积等。碳化硅连续纤维增强金属间化合物基复合材料比铝基和钛基复合材料有更高的使用温度,可达700℃以上,同时兼有很好的比强度和比模量,其室温断裂韧性可达110~150MPa·m1/2。此类复合材料主要用于航空航天飞行器中的主承力构件。(1)铝基复合材料。一种连续纤维增强金属基复合材料,具有很高的比强度和比刚度。一般含纤维45%~50%(vol),单向增强时纵向拉伸强度约为1250~1600MPa,模量210~240GPa,密度依碳芯纤维与钨芯纤维不同,分别为2.85与3.05g/cm3。通常用热压扩散结合或液态渗透工艺制造。为避免与基体的有害反应,纤维表面涂有一层不同结构的富碳涂层。采用热压工艺时基体一般用纯铝或LD2铝合金,铸造工艺多用铝硅系铸造合金。(2)钛基复合材料。以CVD碳化硅连续纤维增强钛合金基体的金属基复合材料。碳化硅纤维一般选用SCS-6,其体积含量一般约40%左右。钛合金基体可以选用。钛合金(如Ti-5Al-2.5Sn)、α+β钛合金(如Ti-6Al-4V)、近β钛合金(如:Ti-10V-2Fe-3Al)和β钛合金(如:Ti—15V-3Cr-3Sn-3Al)。此类复合材料的制备工艺主要有真空热压、热等静压和超塑成型/扩散结合等方法。碳化硅连续纤维增强钛基复合材料比铝基复合材料有更高的使用温度,可达600℃以上,并具有优异的抗腐蚀性能和力学性能,例如:以SCS-6纤维增强Ti-6Al-4V合金基体的钛基复合材料的室温拉伸强度可达1690MPa,拉伸模量可达240GPa。此类复合材料的主要应用领域是航空航天飞行器中的主承力构件。

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