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1)  Ball type defect
球状缺陷
2)  spheroid defect
球形缺陷
3)  planar defect
面状缺陷
1.
Enhancement of an ultrasonic B scan image of planar defect;
面状缺陷超声B扫描检测图像增强研究
2.
Characteristic and recognition of ultrasonic TOFD signal and image for planar defect;
面状缺陷超声TOFD法信号和图像的特征与识别
4)  spot like defects
斑状缺陷
5)  needle_like defect
针状缺陷
6)  haze defect
雾状缺陷
1.
The haze defect shows more serious status during the lithography process coming to 193 nm wavelength.
在光刻波长进入到193 nm之后,雾状缺陷(haze defect)越发严重,研究发现环境是雾状缺陷产生的重要原因。
补充资料:点缺陷(见晶体缺陷)


点缺陷(见晶体缺陷)
point defect

  点缺陷point defeet见晶体缺陷。
  
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