1) resonant micro-machined pressure sensor
谐振式微机械压力传感器
1.
A resonant micro-machined pressure sensor measures the applied pressure by detecting the change of resonant frequency of its mechanical resonator.
谐振式微机械压力传感器是通过检测其机械谐振器谐振频率的变化来实现压力测量,特点是尺寸小,精度高,稳定性好,易与数字电路接口,具有广阔的应用前景。
2) silicon micromachine resonant sensors
硅微机械谐振传感器
3) Resonant pressure sensor
谐振式压力传感器
1.
A design principle of the diaphragm for microfabricated resonant pressure sensor was present, based on the deformation and stress distribution of square diaphragm,two kinds of square diaphragm with silicon islands were developed as well.
根据正方形膜片的变形和应力分布情况,提出了一种硅微谐振式压力传感器敏感膜片的设计方法,设计了两种正方形间接连接式压力敏感膜片。
2.
A novel resonant pressure sensor structure is proposed.
提出了一种微机械谐振式压力传感器的新结构。
5) resonant microaccelerometer
谐振式微加速度传感器
1.
FEA(finite element analysis) is used to evaluate a novel designed resonant microaccelerometer.
有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器,仔细分析新结构的几个主要振动模态,优化结构参数,证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1 000 Hz/gn。
6) silicon micro resonant sensor
硅微谐振式传感器
1.
Considering the particularity of measuring frequency characteristics of silicon micro resonant sensors,a novel dynamic method for measuring frequency characteristics is presented,which utilizes the chirp signal as the excitation signal,chirp Z transform (CZT) as one of the analyzing tools.
针对硅微谐振式传感器频率特性 (谐振频率和品质因数 )测量的特殊性 ,提出了以线性调频信号为激励信号、线性调频Z变换 (CZT)为频谱分析工具的系统频率特性的动态测试方法 ,使得该系统能够高效、精确地测量机械式谐振传感器的频率特性。
补充资料：谐振
谐振
resonance
一l/幸产云三)时，电路谐振。串联的电感电压亡:和电一…图2图l电路谐振时的相量图容电压U。相互抵俏;电阻电压U*等于电源电压亡S。电压相量图见图冬谐振咏电路中电流10一Us/R和电源电压同娜感抗仍0L和容抗1/(畅0相等下并以特性阻杭尸来表示，即p一。0L一l/(。0c)o电感电压和电容电压的有效值相等，u:一Uc一QUs，其书畔e/R，称作谐振电路的品质因数。Q>1时，电感 谐振林电霎暴默器瑟咒赢应…{麟娜洋淤I1I。/，、2 心1+Q“}夕一言J V、专/其曲线见图3o谐振时，亏一1，电流最大。_品质因数Q┌─┐│口│└─┘图3串联电路的 普用谐振曲线其他频率下，电流很小，有“选择性，’oQ越大，愈大，曲线愈尖，它表明电源频率f稍许离开谐振频率f0(即夕稍许偏离l)时，电流比谐振时电流了。要小得多。这也意味着Q大时，只有频率接近于f0的电源，才在电路中产生较大电流，此时电路呈现低阻抗;在电路呈现高阻抗，电路对频率电路的选频特性越好。 电流谐振又称并联谐振。谐振时，二端网络内相并联的两个子网络的无功电流分量相互抵消。最简单的电流谐振电路由电阻R、电感L和电容c并联构成，由电流源激励，见图4。电源频率等于电路的谐振频率f0一1/(27t丫饭万)时，电路谐振。谐振时，电感电流Il.和电容电流Ic相互抵消，电阻电流九等于电源电流15。它们的相图4并联谐振电路量图见阶。电路的品质因数Q叛/e，式中特性阻抗产一两去一l/(。oc)。品质因数Q大时，只有其频率接近谐振频率f0的电源，才在电路里引起较大电压，此时电路呈现高阻抗;在}其他频率下，电压很低，电路呈现低阻!抗。Q越大，电路的选频特性越好。Q)一一场二人>1时，电感电流、电容电流大于电源{电流。{IL 混联形式的谐振电路电阻、电图5图4电感、电容元件以混联形式构成的谐振路谐振时的电路。这种电路的谐振频率可以不止相量图一个。图6所示电路就是其中之一例。当电源频率‘一1/「2二认了万花再瓦夕]时，图中用虚厂一一厂一一几厂乙刁{厂一-}喇日洲。。份 匕二曰{‘一一卜一习{匕_____」 2图6由电容C，、CZ和电感L组成的谐振电路线框住的两个串联子电路的电压相互抵消，出现串联谐振，电路呈现低阻抗。当电源频率九一l/(2二x为交百)>f，时，L和岛的并联子电路的电流相互抵消，电路呈现高阻抗。此电路可顺利地让频率是fl的电流流通，阻止频率是九的电流通过。f，和fZ是该电路的两个谐振频率。
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参考词条