1) Resonance pressure sensor
谐振型压力传感器
1.
The research of resonance pressure sensor technology has been done by used silicon/silicon bonding, grinding and IC process, the compatible technology problems of three- dimension bulk manufacturing and planar IC process have been resolved.
文章利用硅/硅键合、减薄抛光和IC工艺技术,开展硅基谐振型压力传感器技术研究,解决了三维体加工与IC工艺兼容的关键技术问题,成功地研制出一种硅基谐振型压力传感器样品,在常压下测试其Q值达到400,进一步参数测试还在进行中。
2) Resonant pressure sensor
谐振式压力传感器
1.
A design principle of the diaphragm for microfabricated resonant pressure sensor was present, based on the deformation and stress distribution of square diaphragm,two kinds of square diaphragm with silicon islands were developed as well.
根据正方形膜片的变形和应力分布情况,提出了一种硅微谐振式压力传感器敏感膜片的设计方法,设计了两种正方形间接连接式压力敏感膜片。
2.
A novel resonant pressure sensor structure is proposed.
提出了一种微机械谐振式压力传感器的新结构。
4) silicon resonant pressure sensor
硅谐振压力传感器
1.
The working principle of DruckRPT 200 type silicon resonant pressure sensor is described.
详细介绍了Druck RPT 200型硅谐振压力传感器的工作原理,阐述了大气数据系统的结构、建模及硬件实现等研制过程;该系统采用Druck RPT 200型硅谐振压力传感器替代原振动筒式压力传感器测量压力,并采用小型单板计算机作为大气数据系统的嵌入式计算机,实现高度、空速和马赫数等参数的计算,并由显示器实时显示;该大气数据系统体积和重量仅为原系统的1/10,并具有高精度、高分辨率,高稳定性和高重复性的特点。
5) resonance sensor
谐振型传感器
6) resonant micro-machined pressure sensor
谐振式微机械压力传感器
1.
A resonant micro-machined pressure sensor measures the applied pressure by detecting the change of resonant frequency of its mechanical resonator.
谐振式微机械压力传感器是通过检测其机械谐振器谐振频率的变化来实现压力测量,特点是尺寸小,精度高,稳定性好,易与数字电路接口,具有广阔的应用前景。
补充资料：谐振式压力传感器
利用谐振元件把被测压力转换成频率信号的压力传感器。它是谐振式传感器的重要应用方面，主要有振弦式压力传感器（见振弦式传感器）、振筒式压力传感器（见振筒式传感器）、振膜式压力传感器（见振膜式传感器）和石英晶体谐振式压力传感器（见石英晶体谐振式传感器）。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条