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1)  double wire mask
双线掩模
2)  single-wire mask
音线掩模
3)  bimetal mask
双金属掩模
4)  dual-threshold mask
双阈值掩模
5)  X-ray mask
X射线掩模
1.
In this paper,the home-made x-ray mask fabri-cation process is introduced firstly,then a two layer resists method which is used to fabricate deep-submicron T-shaped gate and some initial research results are described,and the domestic deep-submicron lithography status is analyzed .
本文中我们首先对我们的x射线掩模制造工艺进行介绍,然后论述了一种用于制造深亚微米T形栅的两层胶工艺,介绍了所取得的一些研究结果,最后对国内的深亚微米光刻现状进行了简要分析。
6)  bipolar mask bus
双极掩膜总线
补充资料:光学掩模版
分子式:
CAS号:

性质: 在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位,以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。

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参考词条