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1)  deep uv mask
远紫外线掩模
2)  far ultraviolet radiation
远紫外线
3)  extreme ultraviolet
远紫外,超紫外[线]
4)  far-ultraviolet
远紫外线的
5)  deep uv exposure
远紫外线曝光
6)  deep uv lithography
远紫外线光刻
补充资料:太阳远紫外线爆发
      在 100~1700埃的远紫外区的一些单色辐射中常可观测到的太阳局部区域辐射短时间的突然增强。1966年首先在1225~1350埃波段探测到,后来用人造卫星直接地探测到或通过电离层效应(频率突然偏离)间接地探测到许多太阳远紫外线爆发。太阳远紫外线爆发可分为两种类型:①脉冲型爆发,表现出辐射强度的迅速上升和缓慢地下降,同非热X射线爆发、脉冲微波爆发的相关性较好。②缓慢爆发,特征是强度缓慢地上升到峰值,然后又缓慢地下降到起始水平。这种爆发有时同软 X射线爆发、缓变型的微波爆发共生。对于缓慢爆发,还了解很少。脉冲型太阳远紫外线爆发具有下列性质:①较大的远紫外线爆发通常同相关的Hα耀斑出现在同一区域。它的峰值强度与Hα耀斑级别之间彼此密切相关,即远紫外线爆发的峰值强度越大,Hα耀斑的级别也越大。②爆发的寿命在 1分钟到几十分钟之间,最常见的是3~5分钟。比Hα耀斑(或太阳软X射线爆发)短得多,但比共生的硬X射线爆发要长。③爆发峰值流量越高,上升到峰值的时间越短。④峰值流量出现在耀斑闪光阶段,平均比Hα极大亮度、软 X射线(小于10千电子伏)爆发超前二分钟,几乎与非热X射线爆发、脉冲微波爆发同时发生。⑤远紫外线爆发在波长 100~1700埃范围内对24类离子共计36条谱线都有过记录,见下表。其中I/I0是伍德等在1970年给出各谱线辐射通量的相对增长值,第一个数是所测量到的三次最大增长平均值,第二个数是所有测量的平均值(若仅观测到两次,第二个数就不给出),括号内的数字是一次观测得到的数据。⑥CⅡ、OⅥ和 MgX等远紫外共振线所辐射出能量通常为Hα辐射能量的10-1~103。⑦值得注意的是在HeI、CⅡ、CⅢ、OⅤ和OⅥ等谱线的单色辐射中观测到许多小的远紫外爆发,它们常常是大爆发的预兆。此外,据统计结果,在轨道太阳观测台6号所探测到211个远紫外线爆发中,有104个与Hα耀斑(或亚耀斑)共生,另外43个与X射线爆发(或微波爆发)相关,还剩下30%远紫外线爆发,在任何波段均未发现有与之相关的爆发。⑧通常认为,脉冲远紫外线爆发是一些得到加速的相对论性电子与太阳高层大气中的原子、离子碰撞,而将该层加热到107~108度后,通过束缚-束缚跃迁、束缚-自由跃迁、自由-自由跃迁(热轫致辐射)产生的(见恒星大气的吸收和散射)。
  

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