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1)  Descent Slope shallow
下降坡度 小
2)  shallow descent
小角度下降
3)  falling gradient
下降坡度
4)  decrease of sensitivity
灵敏度下降,灵敏度减小
5)  Descent Slope STEEP
下降坡度大
6)  minimum-slope
最小坡度
补充资料:Anglelapping角度研磨

angle lapping 的目的是为了测量junction的深度,所作的芯片前处理,这种采用光线干涉测量的方法就称之angle lapping。公式为xj=λ/2 nf即junction深度等于入射光波长的一半与干涉条纹数之乘积。但渐渐的随着vlsi组件的缩小,准确度及精密度都无法因应。如srp(spreading resistance prqbing)也是应用angle lapping的方法作前处理,采用的方法是以表面植入浓度与阻值的对应关系求出junction的深度,精确度远超过入射光干涉法。

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