1) alignment mark
对准记号
2) reference mark
基准记号
4) alignment mark
对准标记
1.
The principle of bottom side alignment,the stage structure and the selection of the shape and size of the alignment mark are discussed.
主要论述了底面对准光刻机的对准原理、工件台结构以及对准标记的形式和尺寸的选
2.
In this thesis, the principal and feature of several phase grating alignment systems are introduced firstly; Alignment signal of phase grating alignment mark and the factors of influece of alignment signal are analysed secondly; This paper studies and compares three main factors which affect the diffractive error of alignment mark thirdly; At last, by .
本论文首先介绍了各种相位光栅对准系统的原理和特点;接着阐述对准信号以及系统中影响对准信号的因素;其次分析影响相位光栅对准标记衍射效率的主要因素槽深、占空比和反射率;最后通过建立相位光栅对准标记非对称变形的计算模型,分析标记的各级衍射效率和对准误差;并把本文所得结果与仿真软件结果进行比较,两者得到了很好的吻合。
5) alignment signal
对准信号
1.
In this thesis, the principal and feature of several phase grating alignment systems are introduced firstly; Alignment signal of phase grating alignment mark and the factors of influece of alignment signal are analysed secondly; This paper studies and compares three main factors which affect the diffractive error of alignment mark thirdly; At last, by .
本论文首先介绍了各种相位光栅对准系统的原理和特点;接着阐述对准信号以及系统中影响对准信号的因素;其次分析影响相位光栅对准标记衍射效率的主要因素槽深、占空比和反射率;最后通过建立相位光栅对准标记非对称变形的计算模型,分析标记的各级衍射效率和对准误差;并把本文所得结果与仿真软件结果进行比较,两者得到了很好的吻合。
2.
The alignment signals of two large-period sub-gratings were used for mark capture and coarse alignment.
两个较大周期子光栅的对准信号用于对准标记的捕获和粗对准,两个较小周期子光栅的对准信号用于获得粗对准基础上的精确对准。
补充资料：对位
| 对位 counterpoint 复调音乐的写作技法。即根据一定的规则以音对音，将不同的曲调同时结合，从而使音乐在横向上保持各声部的独立与相互间的对比和联系 ， 在纵向上又能构成和谐的效果。构成对位的几个声部，若仅有一种结合方式，其相互关系不可对换者为单对位。相互关系可对换者为复对位。上下可换者为纵向可动对位，前后可移者为横向可动对位，两项兼可者为纵横可动对位。对位法可分严格对位与自由对位两大类别：①严格对位是一种较早的教会复调体系，它采用中古教会调式为基础，以音程进行为根据，在一个固定歌调上写作各类对位曲调。这种体系的规则严格而繁多，大部分与16世纪的合唱风格有关。②自由对位则以大小调体系为基础，以和声进行为根据，对于不协和音的处理、转调、对斜等细节的运用，更接近18世纪的器乐创作。18世纪J.J.富克斯所著《对位津梁》一书把对位技术归为5类，每类均以固定歌调为基础：第一类以1个全音符对1个全音符；第二类以2个2分音符对1个全音符；第三类以4个4分音符对1个全音符；第四类以2分音符的切分节奏对1个全音符；第五类则采取混合节奏与1个全音符相对。19世纪以后的一些教科书中，有的仍以这种分类法为练习基础，但和弦应用的范围、声部进行的规则等都有相应的改动；有的则摒弃了分类练习而直接以混合节奏的曲调互对；有的主张以简明的和声进行为基础，为各声部作流动节奏的装饰。 |
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条