1) resist plasma ashing system
等离子体抗蚀剂灰化系统
2) plasma etching system
等离子体蚀刻系统
3) resist stripping system
抗蚀剂剥离系统
4) resist curing system
抗蚀剂熟化系统
5) resist ashing system
抗转剂灰化系统
6) plasma ashing
等离子体灰化
补充资料：灰化
分子式：
分子量：
CAS号：
性质：使固体废物燃烧而转变为二氧化碳、水和灰的过程。是处理固体废物的一种方法。优点是：（1）体积大大减少，残灰体积一般仅为废物体积的5％以下；（2）残灰处理比较简单；（3）热能可用于产生蒸汽，以供发电等用。缺点是：（1）投资费用高；（2）有些含硫、氮的化合物产生相应的氧化物，排气污染空气。含氯烃的化合物不仅会污染空气，而且会腐蚀灰化炉。
分子量：
CAS号：
性质：使固体废物燃烧而转变为二氧化碳、水和灰的过程。是处理固体废物的一种方法。优点是：（1）体积大大减少，残灰体积一般仅为废物体积的5％以下；（2）残灰处理比较简单；（3）热能可用于产生蒸汽，以供发电等用。缺点是：（1）投资费用高；（2）有些含硫、氮的化合物产生相应的氧化物，排气污染空气。含氯烃的化合物不仅会污染空气，而且会腐蚀灰化炉。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条