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1)  mechano chemical polishing
机械化学抛光加工
2)  chemical-mechanical polishing machine
化学机械抛光机
3)  chemical mechanical polishing
化学机械抛光(CMP)
4)  chemical mechanical polishing(CMP)
化学机械抛光(CMP)
5)  chemical mechanical polishing(CMP)
化学机械抛光
1.
Presents a sequence of order-of-magnitude calculations based on the concepts of chemical kinetics and transport phenomena during the chemical mechanical polishing(CMP) process.
考虑抛光液/芯片的相界面氧化剂浓度和芯片氧化薄膜缺陷对材料去除机理的影响,提出化学机械抛光(CMP)中材料去除机理的量级估算方法,应用化学动力学及传质学等理论估算氧化薄膜的扩散深度量级和生成速率,采用纳米压痕仪模拟单个磨粒在芯片表面的压痕作用,应用线性回归方法分析载荷70 nN下,磨粒压入芯片的深度量级为10-11m。
2.
Slurry flow weighs heavily on the performances of chemical mechanical polishing(CMP) process,wherein the pad surface will alter the flow features considerably.
抛光垫表面特性能可大大改变抛光液的流动情况,从而影响化学机械抛光的抛光性能。
3.
For high-quality and high-efficiency chemical mechanical polishing(CMP) of multilayer interconnection in ultralarge-scale integrated(ULSI) circuit,the silica sol nano-abrasive with large-particle and lowpolydispersition was prepared by polymerization growth technique with control of constant liquid level.
为满足甚大规模集成电路(ULSI)互连结构高质量、高效率化学机械抛光(CMP)的要求,以LaMer模型为理论指导,对恒液面聚合生长法制备大粒径、低分散度硅溶胶研磨料的粒径增长阶段进行了机理分析,并讨论了加料速率对平均粒径及分散度的影响;优化加料速率为3。
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6)  ECMP
电化学机械抛光
1.
Advanced Process Control Extends ECMP Process Consistency;
先进的工艺流程控制拓展电化学机械抛光工艺相容性(英文)
2.
A new electrochemical mechanical polishing(ECMP) procedure was presented.
介绍了一种使用螺旋式线型工具电极的电化学机械抛光新工艺。
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补充资料：模具抛光机、修补机

E-9188D皮纹处理,自动超声波电火花模具抛光机

双重专利:ZL99239244.6 ZL99324079.8

1.工作原理:换能器将输入的超声波电信号转换成每秒2万次的机械振动,经变幅杆放大后转到变幅杆末端的

工具上,带动工具头与工作之间的研磨介质悬浮液,高速冲击强力研磨工件表面,使工件表面的粗糙度迅速降低,从

而实现超声波抛光过程。
2.使用范围;各种复杂型腔,窄槽、夹缝、盲孔、平面及各种硬质合金的粗中整形至镜面的抛光,抛光工效高,比手工

抛光高十陪以上。
3.抛光材料:各种金属、硬质合金、玻璃、玉石和玛瑙等。
4.加工表面粗糙度(Ra0.012-13)
5.抛光介质:人造金刚石研磨膏或钻石研磨膏。
6.工作频率:26-31KHZ
7.电源要求:220V 50H
8.最大功率:350W
9.外形尺寸: 325×135×300mm
10.重量约:15KG


 

YJCS-5B型超声波模具抛光机
特点：1、微电脑控制的谐振频率自动寻找和锁定功能；
2、数控九段振动大小和放电间隙跟踪适应功能；
3、数控九段电火花强度；
4、精细的电火花整形功能，适合细微工件的整形和抛光；
5、电火花输出采用电感储能限流技术，耗电很省；
6、换能器轻巧，操作方便；
7、控制器占用工作台面积小。



 

YJCS-7型超声波模具抛光机
特点:1、频率自动跟踪控制功能;
2、人工干预频率微调功能;
3、功率输出稳定,而且损耗很少;
4、操作简单,开机即可使用;
5、换能器轻巧,操作方便;
6、控制器小,占用工作台面积少。

 

YJCS-6型超声波模具抛光机
特点：1、微电脑控制的谐振频率自动寻找和锁定功能；
2、数控九段振动大小和放电间隙跟踪适应功能；
3、数控五段电火花强度控制功能；
4、数控九十九段电火花花纹功能；
5、数控九十九段电火花强化功能；
6、电火花输出采用省电的电感储能限流技术；
7、真人发声的语音提示功能；
8、高强度、耐腐蚀的聚碳酸脂外壳。

YJXB-3型工模具修补机(冷焊机)
特点:本机具有前几款冷焊机所具有的熔接强度高、焊补精度好、基材损伤小的优点外、

还具有以下特点：
采用微电脑控制，对应不同厚度的补材焊接，功率分配更合理，数字显示，操作更直观
主电源采用开关电源技术，对市电的波动适应范围大(±20%)
体积小巧(350*210*150mm3)，重量轻(8Kg)，携带方便
具有精密输出端口，很适合作精密焊补
具有焊接模式选择功能，以达到最佳的焊接效果??

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参考词条