1) polishing agent for mono-crystalline silicon
单晶硅抛光剂
3) Silicon wafer polished both sides
双面抛光硅单晶
4) polished monocrystal germanium wafer
锗单晶抛光片
6) polished silicon wafer
抛光硅片
1.
In this work, the iron contamination on the polished silicon wafers fabricated by different procedures has been probed by SPV, and then the dominant iron contamination sources during the fabrication process have been found.
本文通过SPV法测试不同流程制造的P型抛光硅片中的铁沾污 ,找到了在P型抛光硅片制造工艺过程中引入铁沾污的主要来源。
补充资料：单晶硅
单质硅的一种形态。熔融的单质硅在凝固时硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核，如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒，则这些晶粒平行结合起来便结晶成单晶硅(见彩图)。
单晶硅具有准金属的物理性质,有较弱的导电性,其电导率随温度的升高而增加；有显著的半导电性。超纯的单晶硅是本征半导体。在超纯单晶硅中掺入微量的ⅢA族元素，如硼可提高其导电的程度，而形成p型硅半导体；如掺入微量的ⅤA族元素,如磷或砷也可提高导电程度，形成n型硅半导体。
单晶硅的制法通常是先制得多晶硅或无定形硅，然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅。单晶硅主要用于制作半导体元件。
单晶硅具有准金属的物理性质,有较弱的导电性,其电导率随温度的升高而增加；有显著的半导电性。超纯的单晶硅是本征半导体。在超纯单晶硅中掺入微量的ⅢA族元素，如硼可提高其导电的程度，而形成p型硅半导体；如掺入微量的ⅤA族元素,如磷或砷也可提高导电程度，形成n型硅半导体。
单晶硅的制法通常是先制得多晶硅或无定形硅，然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅。单晶硅主要用于制作半导体元件。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条