1) cathode stream
阴极电子溅射
3) cathode sputtering
阴极溅射
1.
A new net-shape cathode sputtering target which has a simple structure and a high sputtering rate was put forward.
设计了一种网状阴极溅射靶,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成。
2.
A new net\|shape cathode sputtering target which has a simple structure and a high sputtering was put forward.
研究设计了一种网状阴极溅射靶 ,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成。
3.
The cathode sputtering of nickel base alloy Inconel 625 was studied in double glow discharge.
研究了双层辉光放电条件下镍基合金Inconel 6 2 5的阴极溅射行为。
4) cathode sputtering chamber
阴极溅射室
5) Cathodic sputtering atomizer
阴极溅射原子化器
6) sputtered electrode
溅射电极
补充资料：阴极溅射
分子式：
分子量：
CAS号：
性质：又称三极反应溅射。是一个真空系统中，以金属为阴极，工件为阳极，灯丝发射电子极作为第三个极。现以阴极溅射金色氮化钛为例：通入气体（氮），并加热灯丝使之发射电子，在阴极金属钛上反应生成氮化钛，同时把钛原子轰击并溅射出来，钛原子在空间又被电子碰撞而电离，并与氮离子反应生成金色氮化钛沉积的工件上。此过程中离子有1~100电池伏能量，故结合力比真空蒸镀好，膜层致密，一般无气孔。应用于钟表、表带、金笔、眼镜框、工艺品及装饰用品上。
分子量：
CAS号：
性质：又称三极反应溅射。是一个真空系统中，以金属为阴极，工件为阳极，灯丝发射电子极作为第三个极。现以阴极溅射金色氮化钛为例：通入气体（氮），并加热灯丝使之发射电子，在阴极金属钛上反应生成氮化钛，同时把钛原子轰击并溅射出来，钛原子在空间又被电子碰撞而电离，并与氮离子反应生成金色氮化钛沉积的工件上。此过程中离子有1~100电池伏能量，故结合力比真空蒸镀好，膜层致密，一般无气孔。应用于钟表、表带、金笔、眼镜框、工艺品及装饰用品上。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条