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1)  stepper lithography
步进重复光刻
2)  Step and repeat photoetching machines
分步重复光刻机
3)  step and repeat exposure
步进重复曝光
4)  stepper [英]['stepə]  [美]['stɛpɚ]
步进光刻机
5)  optical step and repeat camera
光学步进重复照相机
6)  step and repeat mask
步进重复曝光掩模
补充资料:分步重复照相机
分子式:
CAS号:

性质:又称图像重复机。由高分辨率缩微照相镜头(常用十倍或五倍)和程控精密载物台组成的系统。用以制作母版。来自镜头的图像投影倒置于载物台上的感光板上,移动载物台在需要的诸位置上对感光板曝光。

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参考词条