1) stepper aligner
步进重复对准器
2) site by site alignment
步进重复对准
4) stepping projection aligner
步进式投影对准曝光器
5) repeater
[英][rɪ'pi:tə(r)] [美][rɪ'pitɚ]
步进重复照相机;中继器
6) die by die alignment
步进式芯片对准
参考词条