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1)  site by site alignment
步进重复对准
2)  stepper aligner
步进重复对准器
3)  field by field alignment
芯片的分步重复对准
4)  die by die alignment
步进式芯片对准
5)  step and repeat camera
步进重复照相机
6)  step and repeat equipment
步进重复装置
参考词条