2) dry film photo processing
干膜抗蚀剂光刻工艺
3) photoresis
光抗蚀剂
4) optical fine structure
光谱精细结构
1.
The unknown optical fine structure,electron paramagnetic resonance(EPR) spectra(zero-field.
2H2O晶体的光谱精细结构和电子顺磁共振(EPR)谱(零场分裂D和顺磁g因子)。
5) KMER Kodak Metal Etch Resist
柯达金属抗腐蚀剂(刻蚀电路用)
6) postive working phtoresist
正作用光致抗蚀剂
补充资料：精细结构
| 精细结构 fine structure 原子中电子自旋-轨道相互作用引起的原子能级的多重分裂结构。通常在一些较轻元素中，这种分裂是精细的，对重元素这种分裂较大。原子中自旋与轨道相互作用，不同的自旋方向引起能量的改变。单电子情形，电子自旋  ，有两个取向，一般能级分裂为两个，能级的精细结构是双重的；两个价电子情形，总自旋S＝0和1，对应的能级精细结构是单态和三重态；同理，3个价电子情形，能级精细结构是双重态和四重态，等等。精细结构的能级裂距与原子序数的平方成正比，与表征精细结构的精细结构常数a的平方成正比。精细结构能级间隔遵从朗德间隔定则，相邻的能级间隔之比同有关的两个总角动量即J值中较大的J值成正比。由此可以确定原子是否属于LS耦合。原子能级的精细结构使得原子跃迁时发出的光谱线也具有精细结构。研究光谱线的精细结构，可获得原子内部自旋-轨道相互作用的信息。 |
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参考词条