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1)  silicon oxide thin film multilayer wiring
一氧化硅薄膜多层布线
2)  thin film multilayer wiring
薄膜多层布线
3)  silicon monoxide thin film medium materials
一氧化硅薄膜介质材料
4)  silicon oxide film
氧化硅薄膜
5)  Si/SiO 2 multilayers
硅/二氧化硅多层膜
6)  nanoporous silica film
纳米多孔二氧化硅薄膜
1.
Preparation and characterization of nanoporous silica film;
纳米多孔二氧化硅薄膜的制备与表征
2.
Fabrication and characterization of nanoporous silica film;
纳米多孔二氧化硅薄膜的制备及性能
3.
Effect of age process on the microstructure of nanoporous silica film
老化工艺对纳米多孔二氧化硅薄膜微观结构影响
补充资料:多层布线技术
分子式:
CAS号:

性质: 制作多层布线陶瓷基板和封装管壳工艺技术。有两种基本方法:一种是在薄片状的陶瓷生坯上印刷耐热导体,然后在压力下多层叠加。另一种是在陶瓷生坯上交替印刷导体层和隔离介质层。两者都经高温烧结而成独石结构的复合陶瓷。陶瓷内导体构成立体配线,形成回路,导体有钼-锰系,钼-金系,钯系,铝系,钨系等。采用此法制成的器件具有重量轻、体积小、可靠性好、效能高等优点。

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