补充资料：最佳曝光量

分子式：
CAS号：

性质：给定厚度抗蚀剂曝光显影后，可精确复制光学掩模版图形尺寸所必需的光化学辐照(能够产生光化学反应的电磁辐射)的总累积能量，能量单位以每cm2所需能量计。

说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。