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1)  positioning table with air bearings
气浮定位平台
2)  maglev positioning stage
磁悬浮定位平台
3)  air-thrust bearings
气浮平台
1.
Analysis of the positioning accuracy of ultra-precision stage with air-thrust bearings;
超精密气浮平台的定位精度分析
4)  Positioning Stage
定位平台
1.
A two degrees of freedom (DOF) positioning stage using novel linear ultrasonic motors is presented.
搭建了一种新型两自由度精密定位平台,主要由直线型超声电机、直线导轨、工作台三部分组成。
2.
Error Modeling and Compensation of Linear Motors Positioning Stage;
首先分析了定位平台的误差来源,采用激光矢量测量方法测量工作台的定位误差;然后用最小二乘法分别建立工作台的分段线性,用BP算法建立神经网络误差模型,利用误差模型构造了各电动机的一维或二维误差校正表;最后,根据误差校正表进行误差实时补偿实验。
5)  positioning table
定位平台
1.
Nonlinear friction compensation based on neural networks for the positioning table;
定位平台非线性摩擦的神经网络补偿
2.
The motion control system of two-dimension positioning table based on GT-SV-400 motion control card is developed, which adopt the structure of "NC+PC".
基于GT_SV_400运动控制卡,采用"NC+PC"开放式结构,设计出了二维定位平台运动控制系统,并通过软件程序对定位误差进行了补偿,最终实现了系统工作行程200mm,定位精度±5μm。
3.
To develop a high speed and high performance precision positioning table for wire bonding machine,a 2D precision positioning table with air bearings was presented.
为提高引线键合机定位机构的运动速度和定位精度,提出了一种基于气浮导轨支撑的两自由度高速精密定位平台。
6)  Platform location
平台定位
补充资料:浮气

浮气

浮气   循行于浅表部位之气。《灵枢·卫气》:“其浮气之不循经者,为卫气。”

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