1) micropositioning table
微定位平台
1.
Development of a 2-DOF micropositioning table;
二自由度微定位平台的研制
2.
In order to overcome the shortage that precision grinding machine can not realize nanometer level machining due to lower infeed resolution,a 3-DOF micropositioning table is utilized as auxiliary table for preci- sion positioning and dynamic compensation.
为了克服精密平面磨床进给系统分辨率低而难以实现纳米级磨削加工的不足,设计了一台三自由度微定位平台来实现纳米定位和振动误差动态补偿。
3.
In order to realize 2-dimensional nanometer level positioning,this paper presents a piezoelectrically driven micropositioning table with high stiffness and resolution.
为了实现二维平面纳米级定位,研制了一台压电陶瓷驱动和弹性铰链导向的一体化微定位平台。
2) positioning micro X-Y stage
微型定位平台
1.
To meet the requests of miniaturization and high precision of nano-positioning X-Y stage, a novel 2-DOF single crystal silicon(SCS)nano-positioning micro X-Y stage with the function of displacement detection was successfully devel- oped using silicon bulk machining, and its principle was introduced in this paper.
为了解决纳米定位平台小型化、定位精度高的问题,采用体硅加工技术成功地研制了一种基于单晶硅的、带有位移检测功能的新型二自由度微型定位平台。
3) Positioning Stage
定位平台
1.
A two degrees of freedom (DOF) positioning stage using novel linear ultrasonic motors is presented.
搭建了一种新型两自由度精密定位平台,主要由直线型超声电机、直线导轨、工作台三部分组成。
2.
Error Modeling and Compensation of Linear Motors Positioning Stage;
首先分析了定位平台的误差来源,采用激光矢量测量方法测量工作台的定位误差;然后用最小二乘法分别建立工作台的分段线性,用BP算法建立神经网络误差模型,利用误差模型构造了各电动机的一维或二维误差校正表;最后,根据误差校正表进行误差实时补偿实验。
4) positioning table
定位平台
1.
Nonlinear friction compensation based on neural networks for the positioning table;
定位平台非线性摩擦的神经网络补偿
2.
The motion control system of two-dimension positioning table based on GT-SV-400 motion control card is developed, which adopt the structure of "NC+PC".
基于GT_SV_400运动控制卡,采用"NC+PC"开放式结构,设计出了二维定位平台运动控制系统,并通过软件程序对定位误差进行了补偿,最终实现了系统工作行程200mm,定位精度±5μm。
3.
To develop a high speed and high performance precision positioning table for wire bonding machine,a 2D precision positioning table with air bearings was presented.
为提高引线键合机定位机构的运动速度和定位精度,提出了一种基于气浮导轨支撑的两自由度高速精密定位平台。
5) Platform location
平台定位
6) integrated micro xy-stage
集成式微型xy定位平台
补充资料：寄微之 时微之为虢州长史。
【诗文】：
高天默默物茫茫，各有来由致损伤。
鹦为能言长剪翅，龟缘难死久搘床。
莫嫌冷落抛闲地，犹胜炎蒸卧瘴乡。
外物竟关身底事，谩排门戟系腰章？
【注释】：
【出处】：
全唐诗
高天默默物茫茫，各有来由致损伤。
鹦为能言长剪翅，龟缘难死久搘床。
莫嫌冷落抛闲地，犹胜炎蒸卧瘴乡。
外物竟关身底事，谩排门戟系腰章？
【注释】：
【出处】：
全唐诗
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