1) MOEMS
微光学电子机械系统
1.
An Analysis on the Applications of MOEMS Micromirror Arrays;
微光学电子机械系统中的微型反射镜阵列的应用前景
2) MOEMS
微光电子机械系统
3) acoustical MEMS
声学微电子机械系统
4) micro electromechanical system (MEMS)
微机械(微电子机械系统)
5) Micro Electro Mechanical Syetem (MEMS)
微电子机械系统(微机械)
6) MOEMS
微光电机械系统
1.
Applications of MOEMS in Optical Communication;
微光电机械系统在光通信中的应用
2.
55 μm MOEMS wavelength tunable filters are introduced,and the optical and electromechanical properties are simulated by using matrix transmittance theory and a electric-mechanical model of cantilever.
55μm微光电机械系统(MOEMS)波长可调谐滤波器的光学和电学特性进行了深入的对比分析和研究。
3.
The Introduction of Novel Materials That Enable Temporary Bonding, Front-side Etch Protection, and MOEMS Packaging;
最后,介绍了高透明高折射材料,这些材料用在高亮度发光二极管(HB-LED)和微光电机械系统(MOEMS)中,可以降低由封装引起的光损耗。
补充资料：机械电子学
研究将电子器件的信息处理和控制功能附加或融合在机械装置中的一种复合化技术。俗称机电一体化。机械电子学 (mechatronics)是由机械学(mechanics)和电子学 (electronics)两个词结合而成的新词。机械电子学主要研究目的是把机械技术与微电子技术和信息技术有机地结合为一体，实现整个系统的最优化。机械电子学可以充分发挥机械技术、微电子技术和信息技术的各自的长处和特点，促进机械产品的更新换代。机械电子学系统主要由机械主体、传感器、信息处理和执行机构等部分组成。较高级的系统不但有硬件，而且还有相应的软件,利用软件技术可以实现硬件难以实现的功能,使机械系统增加柔性。典型的机械电子系统有数控机床、加工中心、工业机器人等。机械电子学技术除用于单个机器、设备或一般的生产系统的技术改造之外，还用于柔性制造系统、计算机集成制造系统、工厂自动化、办公自动化、家庭自动化等方面。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条