1) scanning white-light interferometry
白光扫描干涉法
1.
The technology of high-precision 3-D surface topography analyzing based on scanning white-light interferometry is described in details.
白光扫描干涉法在三维表面形貌的测量中有着广阔的应用前景。
2.
Scanning white-light interferometry for 3D surface topography has a wide application.
本文在系统地分析和总结了各种三维表面形貌测量方法,比较了各种方法的优缺点,重点对使用白光扫描干涉法高精度测量三维表面形貌技术进行了研究。
3) scanning white-light interferometry
扫描白光干涉术
4) Scanning White-light Interfeerometry profilometer
白光扫描干涉轮廓仪
1.
This paper presents a Z direction micro-displacement platform with diffraction grating interference displacement sensor , the position accuracy is obtained in the Scanning White-light Interfeerometry profilometer.
本文介绍了一种以衍射光栅作为计量标准器的垂直方向上的微位移工作台,用来实现在白光扫描干涉轮廓仪的表面形貌测量中Z方向上的精密定位,该工作台实现了轮廓仪的闭环测量和控制,文章重点讲述了光栅信号处理的硬件及软件细分技术,以及压电陶瓷驱动电路的原理和工作台闭环定位控制的流程。
5) vertical scanning white-light interference
垂直扫描白光干涉
6) interferometric scanning
干涉扫描法
补充资料：光的干涉
| 光的干涉 light，interference of 两束或两束以上的光波在一定条件下重叠时，重叠区的光强不等于各束光波强度之和的现象。大多数情形下在重叠区产生不随时间而变的强弱交替的光强分布。产生干涉的条件为：①各光束的频率相同。②在每个点上各束光的振动间有固定的相位差，这就要求各光源间有固定的相位关系。③叠加点各光振动有大致相同的振动方向。以上条件称为相干条件，满足此条件的光源和光波分别称为相干光源和相干光。 两束相干光重叠时，重叠区的光强分布为  式中I1和I2为两束相干光在叠加点的光强，δ为叠加点两光振动间的相位差，它由两相干光源本身的相位差和两相干光波的光程差(见光程)确定。δ＝2kπ(k＝0，±1，±2，…)时，光强I达极大值，称干涉极大；δ＝(2k＋1）π时，I达极小值，称干涉极消。整数k称为 干涉级。两独立光源由于其发光的随机性，两者间不可能有固定的相位关系，所发光波不是相干光，因而不能产生干涉，叠加时总光强等于两束光单独存在时的光强之和，称非相干叠加。为实现干涉，必须把从同一光源发出的光波分成两束，分别经过不同的光程，然后再叠加起来。此情形下叠加点两光振动间的相位差仅由光程差决定，故能实现干涉。根据分开光束的不同方法，可把干涉分为分波前干涉和分振幅干涉两类，前者是借助于光学装置将同一入射波前分割成两部分，后者是利用光在界面上的反射和折射将同一入射振动分成两部分。 光源为点光源时，重叠区的任何地方都能观察到干涉，称非定域干涉；光源为扩展光源（或面光源，由无数不相干的点光源组成）时，一般只能在重叠区的特定区域观察到干涉，称为定域干涉。 产生干涉是一切波动的共性，光的干涉只能用光的波动理论才能解释，历史上曾作为光的波动性的证据。光的干涉原理被广泛用于各种物理量的精密测量和光学元件质量的精密检验(见干涉仪)。 |
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参考词条