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1)  spatial frequency scan
空间频谱扫描干涉法
2)  spatial frequency comb
梳状空间频率扫描干涉法
3)  sinusoidal spatial frequency comb
正弦函数空间频率扫描干涉法
4)  interferometric scanning
干涉扫描法
5)  scanning white light interferometry
扫描白光干涉法
6)  scanning white-light interferometry
白光扫描干涉法
1.
The technology of high-precision 3-D surface topography analyzing based on scanning white-light interferometry is described in details.
白光扫描干涉法在三维表面形貌的测量中有着广阔的应用前景。
2.
Scanning white-light interferometry for 3D surface topography has a wide application.
本文在系统地分析和总结了各种三维表面形貌测量方法,比较了各种方法的优缺点,重点对使用白光扫描干涉法高精度测量三维表面形貌技术进行了研究。
补充资料:扫描干涉仪
      使法布里-珀罗标准具(见法布里-珀罗干涉仪)两反射面间的光程连续地改变(扫描)的仪器。它的两种典型结构如图所示。图a是把标准具置于真空室中,用调节真空室的气压去改变折射率实现扫描。图b是把标准具置于密封的真空室中,利用改变施加到电致伸缩元件上的电压去调节两反射面的间隔,实现扫描。
  
  把扫描干涉仪、单色仪和光电接收技术结合起来可研究光谱线的超精细结构,也就是光谱线的各光谱成分的波长和强度。扫描干涉仪在研究激光纵模方面意义更大,并且往往不需单色仪,只需使用激光器、隔离器、扫描干涉仪、光电探测电路组成的系统,即可测定激光各纵模波长和强度。
  

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