5) Mo/Al multiayers
Mo/Al多层膜
6) X_ray multilayers
X射线多层膜
1.
The present study may serve as a guideline for the preparation of X_ray multilayers.
文中考虑了材料的相对导磁系数对材料复数折射率的贡献,使分层介质系统的光学迭代法更具普遍性;还系统地研究了理想X射线多层膜的掠入射镜面反射率与层厚比及周期数的关系,这对X射线多层膜的制备具有指导意
补充资料:光学保护膜
光学保护膜
optical protection coating
光学保护膜叩tieal proteetion eoati飞沉积在金属或其他软性易侵蚀材料或薄膜表面,增加其强度或稳定性,改进其光学性能的一类光学薄膜。 常见的光学保护膜是金属镜面保护膜。金属镜面比较软,且容易受到空气的侵蚀或氧化而降低其反射率。在其表面镀一层电介质膜则可加以保护。常用的保护膜材料有510、5102、AbO3等。为了保证镜面的光学性能,要求电介质膜在使用的波长范围内吸收尽量小。在紫外区,5102、MgFZ、LIF等可作为这一波段的候选材料。 在有些薄膜中不仅要考虑入射介质对薄膜的侵蚀,还要考虑基体材料对薄膜的作用和增加薄膜对基体的附着力,故需在基体和薄膜界面加涂一层底膜或过渡膜。实际上这也是一种保护膜。它除起一般的保护作用外,还要与被保护的材料或薄膜匹配,以改进其光学性能。 光学保护膜已用于光存储技术中。根据不同要求,光学保护膜可增加或减少反射率,以及实现所要求的位相变化或偏振态。保护膜不仅可以隔绝空气和基体材料对存储材料的侵蚀,提高其稳定性、可靠性和寿命,而且通过匹配技术,还可提高其存储性能和载噪比。在实用的光盘体系中,无论是相变盘还是磁光盘,几乎都是由记录介质和匹配介质的多层结构组成。磁光光盘的保护膜可以极大地降低一些稀土元素的氧化效应,防止其性能变差,并通过干涉增强、增大克尔旋转角。相变光盘的保护膜不仅隔绝空气而且增加其稳定性,并可以保证记录介质的组分在相变过程中保持不变,还可通过有效的匹配,提高其记录灵敏度和信号对比度。用作光盘的保护介质要竭力避免介质本身对记录材料的侵蚀,为此常选用氮化物等稳定性较好的薄膜材料。这类材料一般用溅射技术成膜。 除光盘保护膜外,其他如太阳能薄膜、建筑膜、光开关膜等各种功能薄膜,都可通过光学保护膜来增强其性能,保证其稳定性。介质保护膜不仅用于金属或半导体表面,而且用于介质膜本身的保护。激光薄膜的保护膜就是其中的一种,可大大提高激光反射膜和增透膜的激光损伤阑值。(范正修)
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参考词条