1) macro-accelerometer
微加速度传感结构
2) microaccelerometer
微加速度传感器
1.
Progress in multi-axis microaccelerometer;
多轴微加速度传感器的进展
2.
Design and fabrication of novel silicon based microaccelerometer;
新型硅微加速度传感器的设计与制作
3.
Effect of fabrication characteristic of 2-D microaccelerometer on performance;
工艺特性对二维微加速度传感器性能的影响
3) acceleration microsensor
加速度微传感器
1.
This paper chiefly describes the structure, operational principle of several typical resonant acceleration microsensors and microgyroscopes, and analyzes their application features.
对几种典型的谐振式加速度微传感器和微陀螺的结构、工作原理等方面进行了概述,分析了各自的应用特点。
4) micro accelerometer
微加速度传感器
1.
Design of wireless mouse based on micro accelerometer;
基于微加速度传感器的无线鼠标的设计
2.
Modeling and virtual working of micro accelerometer in virtual environment is discussed in this paper.
对虚拟环境中微加速度传感器建模及拟实运行进行了研究 。
5) micro-accelerometer
微加速度传感器
1.
After strictly controlling the surface quality of the element and logically designing the server controller, the micro-accelerometer achieves: the range of ±70 g, the linearity secondary multinomial coefficient of 10-6, the remained error of 15 mg,.
为了解决电容极板间隙低至3μm时传感器键合封接后内部活动部件粘连失效的问题,介绍了一种利用去除部分Au层的办法来抑制小间隙键合粘连,通过严控元件表面生产质量,合理地设计伺服控制器,制作的微加速度传感器已经达到了±70g的量程,单边线性二次项系数10-6量级,残差控制在15mg以内,相对精度达到了2×10-4,达到了设计要求。
2.
Capacitive silicon Micro-accelerometer is kind of important mechanical inertial sensor, one of basic component of measurement.
电容式硅微加速度传感器是一种重要的惯性传感器,是惯性测量组合系统的基础元件之一,在生产生活和军事武器中有着广泛的应用。
3.
The development of capacitive micro-accelerometer, the principle of micro-machined, the closed-loop micro-accelerometer and sigma-delta technology is analyzed in this thesis.
微加速度传感器是MEMS的重要研究领域之一,在工业控制、环境监控、汽车系统以及生物医疗诊断等众多领域有着广泛的应用。
6) silicon micromachined accelerometer
硅微机械加速度传感器
1.
This paper presents a novel silicon micromachined accelerometer with sidewall-diffusion-pizeoresistors.
给出了一种新型的侧面扩散电阻的硅微机械加速度传感器的设计和制造方法。
2.
The present work summarizes the structure and dynamic model of a high g shock Silicon micromachined accelerometer.
给出一种测量高g值冲击加速度的硅微机械加速度传感器的结构和动力学模型 ,此传感器为整体式悬臂梁结构 ,采用硅微机械加工技术制作 ,便于封装和大批量低成本制造。
补充资料：加速度传感器
加速度传感器
acceleration transducer
i廊川u chual勺anqi加速度传感器(accele耐ontr田lsducer)输出t与输人加速度成正比的测振传感器，也称加速度计。压电式和压阻式加速度传感器一般用于结构部件上的振动和冲击测量，允许误差均为1%一5%。应变式加速度传感器一般用于弯曲模态结构振动测量，允乙计式许误差为0.5%一2%。力平衡(伺服)式和电仁振动、加速度传感器通常用于大型结构件或建筑物的毛差为地展及环境振动测量，其中力平衡式的允许愁彦)0.1%一1%，电位计式的为1%一3%。(施昌
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条