1) quasi-LIGA technology
准LIGA制作工艺
2) Quasi-LIGA process
准LIGA工艺
3) UV-LIGA process
UV-LIGA工艺
1.
In order to fabricate the multiple electrodes, it's necessary to use the metal substrate to fabricate the ultra-thick SU-8 microstructures in the UV-LIGA process.
以金属为基底,采用UV-LIGA工艺来制作微细群电极,改进了前烘、后烘、显影等工艺参数,分别在铜和不锈钢基底上通过注射式倒胶的方法制作出厚度达1 mm的SU-8胶结构,最大深宽比达10∶1,并通过微细电铸,获得了铜微细电极。
4) LIGA technology
LIGA工艺
1.
The metal nickel was chosen as the material of latch mechanism,and the principle sample of latch mechanism and nickel standard sample were fabricated by LIGA technology.
选择金属镍作为定位机构材料,用LIGA工艺成功制备出定位机构的原理样机和镍标准样条。
2.
Planar windings manufactured by LIGA technology and silicon micromachine technology are connected with three-phase wye connection.
定子为平面线圈,是采用硅微机械加工技术和LIGA工艺制作的。
3.
The rotors and stators of the micromotor are all planar, the windings are made planar, grooveless and concentric using the LIGA technology and silicon micromachine technology.
定子和转子都做成平面结构,定子线圈采用了平面型、无槽式集中绕组;线圈之间采用了三相星形连接方式,采用了微机械LIGA工艺和硅微机械加工工艺;转子采用钕铁硼永磁材料,进行轴向充磁,成辐射状间隔分布。
5) LIGA process
LIGA工艺
1.
Application of DUV deep lithography in LIGA process;
深紫外深度光刻蚀在LIGA工艺中的应用
2.
Making method of high deep-width rate, batch production of planar windings with LIGA process and silicon deep etching process is researched .
较深入地研究了以LIGA工艺、硅深刻蚀工艺为主的平面绕阻的高深宽比、批量化制作方法。
6) UV-LIGA
准LIGA
1.
A UV-LIGA Process with Release after Package;
一种封装后释放的准LIGA加工工艺研究
2.
Process Research of Complicated Multiple-layer Microstructure Using UV-LIGA;
多层复杂结构准LIGA一体化加工工艺的研究
补充资料：CPU制作工艺
制造工艺的微米是指IC内电路与电路之间的距离。制造工艺的趋势是向密集度愈高的方向发展，。密度愈高的IC电路设计，意味着在同样大小面积的IC中，可以拥有密度更高、功能更复杂的电路设计。微电子技术的发展与进步，主要是靠工艺技术的不断改进，使得器件的特征尺寸不断缩小，从而集成度不断提高，功耗降低，器件性能得到提高。芯片制造工艺在1995年以后，从0.5微米、0.35微米、0.25微米、0.18微米、0.15微米、0.13微米、90纳米一直发展到目前最新的65纳米，而45纳米和30纳米的制造工艺将是下一代CPU的发展目标。
提高处理器的制造工艺具有重大的意义，因为更先进的制造工艺会在CPU内部集成更多的晶体管，使处理器实现更多的功能和更高的性能；更先进的制造工艺会使处理器的核心面积进一步减小，也就是说在相同面积的晶圆上可以制造出更多的CPU产品，直接降低了CPU的产品成本，从而最终会降低CPU的销售价格使广大消费者得利；更先进的制造工艺还会减少处理器的功耗，从而减少其发热量，解决处理器性能提升的障碍.....处理器自身的发展历史也充分的说明了这一点，先进的制造工艺使CPU的性能和功能一直增强，而价格则一直下滑，也使得电脑从以前大多数人可望而不可及的奢侈品变成了现在所有人的日常消费品和生活必需品。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条