1) LP MOCVD
液相金属氧化物化学汽相沉积
2) metal organic chemical vapour deposition (MOCVD)
金属氧化物化学气相沉积(MOCVD)
3) chemical liquid-vapor infiltration
化学液相汽化沉积(CLVI)
4) MOCVD
金属有机化合物化学气相沉积
1.
Ir/C cluster films were prepared by MOCVD(metal-organic chemical vapor deposition) on quartz plate substrates using iridium-acetylacetonate as the precursor.
以乙酰丙酮铱为前驱体,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在石英片上沉积了Ir/C簇膜。
5) MOCVD
金属有机化学气相沉积
1.
The Influential Factors of MOCVD Growth of InP in Opals;
金属有机化学气相沉积法在欧泊空隙中生长磷化铟的影响因素
2.
Latest progress on preparation of ferroelectric thin films prepared by MOCVD process;
金属有机化学气相沉积制备铁电薄膜材料研究进展
3.
The deposition process was carried out in nitrogen by atmospheric pressure metal-organic chemical vapor deposition(MOCVD) with aluminum-tri-sec-butoxide(ATSB) as the precursor.
以仲丁醇铝(ATSB)为前驱物、氮气为载气,用金属有机化学气相沉积法(MOCVD)在HP40钢表面沉积了Al2O3薄膜。
6) MOCVD
有机金属化学气相沉积
1.
Effect of Growth Cycle on SiO_2-InP Fabricated by MOCVD;
生长周期对有机金属化学气相沉积法制备SiO_2-InP光子晶体的影响
补充资料：化学气相沉积碳化硅纤维增强金属间化合物复合材料CVD
分子式：
CAS号：
性质：碳化硅连续纤维增强金属间化合物基体的金属基复合材料。碳化硅纤维一般选用SCS-6，其体积含量一般约40％左右。金属间化合物基体主要是各种铝化物，有代表性的金属间化合物基体如钛铝化合物牛的Ti3Al基合金，复合材料如SCS-6/Ti-24Al-11Nb。此类复合材料的制备工艺主要有真空热压、热等静压、超塑成型/扩散结合和电子束气相沉积等。碳化硅连续纤维增强金属间化合物基复合材料比铝基和钛基复合材料有更高的使用温度，可达700℃以上，同时兼有很好的比强度和比模量，其室温断裂韧性可达110～150MPa·m1/2。此类复合材料主要用于航空航天飞行器中的主承力构件。(1)铝基复合材料。一种连续纤维增强金属基复合材料，具有很高的比强度和比刚度。一般含纤维45％～50％(vol)，单向增强时纵向拉伸强度约为1250～1600MPa，模量210～240GPa，密度依碳芯纤维与钨芯纤维不同，分别为2.85与3.05g/cm3。通常用热压扩散结合或液态渗透工艺制造。为避免与基体的有害反应，纤维表面涂有一层不同结构的富碳涂层。采用热压工艺时基体一般用纯铝或LD2铝合金，铸造工艺多用铝硅系铸造合金。(2)钛基复合材料。以CVD碳化硅连续纤维增强钛合金基体的金属基复合材料。碳化硅纤维一般选用SCS-6，其体积含量一般约40％左右。钛合金基体可以选用。钛合金(如Ti-5Al-2.5Sn)、α+β钛合金(如Ti-6Al-4V)、近β钛合金(如:Ti-10V-2Fe-3Al)和β钛合金(如:Ti—15V-3Cr-3Sn-3Al)。此类复合材料的制备工艺主要有真空热压、热等静压和超塑成型/扩散结合等方法。碳化硅连续纤维增强钛基复合材料比铝基复合材料有更高的使用温度，可达600℃以上，并具有优异的抗腐蚀性能和力学性能，例如：以SCS-6纤维增强Ti-6Al-4V合金基体的钛基复合材料的室温拉伸强度可达1690MPa，拉伸模量可达240GPa。此类复合材料的主要应用领域是航空航天飞行器中的主承力构件。
CAS号：
性质：碳化硅连续纤维增强金属间化合物基体的金属基复合材料。碳化硅纤维一般选用SCS-6，其体积含量一般约40％左右。金属间化合物基体主要是各种铝化物，有代表性的金属间化合物基体如钛铝化合物牛的Ti3Al基合金，复合材料如SCS-6/Ti-24Al-11Nb。此类复合材料的制备工艺主要有真空热压、热等静压、超塑成型/扩散结合和电子束气相沉积等。碳化硅连续纤维增强金属间化合物基复合材料比铝基和钛基复合材料有更高的使用温度，可达700℃以上，同时兼有很好的比强度和比模量，其室温断裂韧性可达110～150MPa·m1/2。此类复合材料主要用于航空航天飞行器中的主承力构件。(1)铝基复合材料。一种连续纤维增强金属基复合材料，具有很高的比强度和比刚度。一般含纤维45％～50％(vol)，单向增强时纵向拉伸强度约为1250～1600MPa，模量210～240GPa，密度依碳芯纤维与钨芯纤维不同，分别为2.85与3.05g/cm3。通常用热压扩散结合或液态渗透工艺制造。为避免与基体的有害反应，纤维表面涂有一层不同结构的富碳涂层。采用热压工艺时基体一般用纯铝或LD2铝合金，铸造工艺多用铝硅系铸造合金。(2)钛基复合材料。以CVD碳化硅连续纤维增强钛合金基体的金属基复合材料。碳化硅纤维一般选用SCS-6，其体积含量一般约40％左右。钛合金基体可以选用。钛合金(如Ti-5Al-2.5Sn)、α+β钛合金(如Ti-6Al-4V)、近β钛合金(如:Ti-10V-2Fe-3Al)和β钛合金(如:Ti—15V-3Cr-3Sn-3Al)。此类复合材料的制备工艺主要有真空热压、热等静压和超塑成型/扩散结合等方法。碳化硅连续纤维增强钛基复合材料比铝基复合材料有更高的使用温度，可达600℃以上，并具有优异的抗腐蚀性能和力学性能，例如：以SCS-6纤维增强Ti-6Al-4V合金基体的钛基复合材料的室温拉伸强度可达1690MPa，拉伸模量可达240GPa。此类复合材料的主要应用领域是航空航天飞行器中的主承力构件。
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参考词条