1) ion beam reaction deposition
离子束反应淀积
2) Dual ion beam deposition
双离子束淀积
3) Ion beam assisted deposition
离子束辅助淀积
1.
Ion beam assisted deposition of infrared wideband antireflection coating on micro optical components used in low temperature;
离子束辅助淀积低温微光学元件红外宽带增透膜
4) ion sputtering deposition
离子束溅射淀积
5) ionized-cluster beam deposition
离子团束淀积
6) Reactive ion beam assisted deposition
反应离子束辅助沉积
补充资料：双低能离子束薄膜淀积设备
双低能离子束薄膜淀积设备
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参考词条