1) micro-cantilever sensing
微梁传感
3) micro-cantilever sensor
微悬臂梁式传感器
1.
The elastic modulus of infrared detective micro-cantilever sensors was measured by three different methods—one static and two dynamic measurements.
利用一种静态和两种动态的检测技术,对红外辐射探测微悬臂梁式传感器材料的弹性模量进行了测试研究。
5) vibration beam sensor
振梁传感器
6) micromechanical Silicon oscillating accelerometer
硅微振梁式加速度传感器
补充资料：振梁式传感器
以弹性梁为敏感元件的谐振式传感器。振梁的固有振动频率随它两端所受的力而变化，通过相应的测量电路就可获得与被测力成一定关系的频率信号。振梁一般连接于弹性受力机构上以感受被测压力。振梁式传感器用于测量静态或缓变压力。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条