1) microcantilever sensor
悬臂梁传感器
1.
Simulations of piezoresistive microcantilever sensors for surface stress measurements
表面应力敏感型压阻微悬臂梁传感器的模拟
2) micro-cantilever sensor
微悬臂梁式传感器
1.
The elastic modulus of infrared detective micro-cantilever sensors was measured by three different methods—one static and two dynamic measurements.
利用一种静态和两种动态的检测技术,对红外辐射探测微悬臂梁式传感器材料的弹性模量进行了测试研究。
4) cantilever acoustic sensor
悬臂式声传感器
1.
Using the pressure-frequency characteristic, the GaAs cantilever acoustic sensor based on RTD is designed and processed by the control hole technology firstly, and the process integration of RTD and micro-mechanical technology is implemented.
利用此压力-频率转换特性,首次设计并利用微机械控制孔技术加工制作了基于RTD的GaAs基悬臂式声传感器结构,实现了RTD与GaAs基微机械加工技术的工艺集成。
5) cantilever be am/self-sensing actuator
悬臂梁/自感知执行器
6) cantilever pressure sensor
悬臂式压力传感器
补充资料：振梁式传感器
以弹性梁为敏感元件的谐振式传感器。振梁的固有振动频率随它两端所受的力而变化，通过相应的测量电路就可获得与被测力成一定关系的频率信号。振梁一般连接于弹性受力机构上以感受被测压力。振梁式传感器用于测量静态或缓变压力。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条