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1)  overlay accuracy
套刻精度
1.
Recent progress in technology of wafer stage and reticle stage used in step-and-scan lithography system is introduced, and the overlay accuracy and the accuracy of the overall system are analyzed.
着重介绍了当前国外步进扫描投影光刻机的工件台和掩模台的发展状况,并对套刻精度和整机精度进行了分析。
2.
The demonstrated overlay accuracy of this system is better than 40nm.
对该系统的分辨率、稳定性、场拼接和套刻精度进行了系列研究 ,得到了分辨率为 30 nm的图形 ,图形的套刻精度也优于 4 0 nm。
3.
The overlay accuracy is one of the most important specifications of the stepper.
套刻精度是步进式光刻机最重要的指标之一。
2)  dividing precision
刻划精度
3)  optical printing precision
光刻精度
1.
In practical application of nano negative refractive index Metamaterials, the effects of shape change and optical printing precision on nano negative refractive index Metamaterials are very important.
下面利用有限积分法模拟形状变化和光刻精度产生的缺陷对负折射谐振频率和通带的影响。
4)  graduating accuracy
刻线精度
5)  exact scale
精确刻度
6)  chromatography precision
套印精度
补充资料:螺纹参数的精度与经济精度的分别
螺纹参数的精度与经济精度的分别

    螺纹参数也有其精度与经济精度之分别吗?


 


零件的参数有精度与经济精度的概念,螺纹作为零件的一种,其参数自然也有精度与经济精度的概念。搞清楚具体螺纹参数的精度与经济精度的分别,知道哪个参数在标准中是“精度”的意义,哪个参数是“经济精度”的意义,对认识现时螺纹精度存在的问题,通过设计的改进,有效提高螺纹的精度,生产各种“高精度螺纹”,具有重大的指导意义。

    1.零件参数的精度与经济精度的概念

    让我们先来复习一下零件参数的“精度”与“经济精度”的概念。

    《GB1800 公差与配合》标准,对“精度”有准确的定义。在机械制造中,我们常常会选择和标注的某一零件参数的精度,也就是我们平常所见所说的公差,这个精度高低(公差的大小),是国际标准公差(IT)的大小排定的。

    那么,“经济精度”又是一个什么样的概念呢?这个概念在该国家标准中没有说明,在其它的资料中,也很少有表述。

    “经济精度”其实是一个“实践的概念”,所谓“实践的概念”,是一种“可变的”内在关系。

    这话怎么解?如我们现在的普通车床,它加工零件的精度可达IT6级,磨床,可达IT4级。这个“级数”,既是就机床的精度,也是就机床的“经济精度”而言的;也就是说,用这种机床生产加工零件,实现或达到上述的精度是正常的精度,是客观的精度,是一种客观上可“自然地”、“轻松地”实现的能力或内在关系。另一方面,这种“经济精度”也是可变的,如几十年后,我们制造车床的精度水平提高了,这种车床实现IT5级或IT4级精度都是一件“轻松”的事时,则这时车床的经济精度就提高到了IT5级或IT4级了。

    这段话,说得虽不很清楚,但实践中我们的设计人员会自如地做到:当零件只需要用普通车床加工就能满足使用要求时,他绝不会选择或标注一个IT5级以上的精度,否则,我们的车间工艺人员就得增加一道磨削的工序了,因为磨削才是IT5级以上精度所能“轻松”达到的“经济精度”。这是第一层关系的意思。

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