1) overlay error
套刻误差
1.
In order to meet the demand of coma measurement accuracy of lithographic tool projection lens,a novel method for measuring coma based on fine overlay error metrology marks is proposed.
为了满足光刻机投影物镜彗差测量精度的要求,提出一种基于套刻误差测试标记的彗差检测技术,分析了彗差对套刻误差测试标记空间像的影响,详细叙述了该技术的测量原理,并利用PROLITH光刻仿真软件对不同数值孔径与部分相干因子设置下套刻误差相对于彗差的灵敏度系数进行了仿真实验。
2) scoring errors
刻划误差
5) registration deviation
套印误差
1.
Detecting registration deviation accurately plays an important role in the automatic overprint control system.
准确检测套印偏差是印刷机自动套印系统中最为关键的技术;针对印刷色标图案的特点,提出了一种新的基于图像匹配的套印误差检测方法,通过相关匹配处理获取各单色色标的位置,并巧妙利用色标圆线的直径确定了系统的标称分辨率,进而计算出各色组问纵向和横向的套印误差;文中详细给出了算法原理和实验结果;相对于经典的边缘检测方法,图像匹配技术充分利用了色标图案的整体信息;实验结果表明,该方法对像素灰度的变化和系统噪声具有鲁棒性,检测精度高。
2.
In color printing,detecting printing registration deviation by man is time-consuming and inefficient.
彩色印刷过程中,人工检测套印误差是一项费时且低效的工作。
3.
The photoelectric detecting technology was usually adopted to detect printing registration deviation online in color printing press,but the detecting result had obvious error because of the different sensitivity of photoelectron head in detecting different color mark.
针对彩色印刷机在采用光电检测技术进行实时套印误差自动检测过程中由于光电头对不同颜色的检测灵敏度不一样而导致的明显的检测结果误差,在系统设计中引入了双边沿触发电路,从而准确获得了各色标中心点经过光电头的时刻。
6) chromatography error
套色误差
补充资料：套刻重合
分子式：
CAS号：
性质：晶片上每一点定义的矢量，这是基片几何图形的矢量位置和套刻图形(可以由光致抗蚀剂组成)相应点矢量位置之间的差称作。= 。
CAS号：
性质：晶片上每一点定义的矢量，这是基片几何图形的矢量位置和套刻图形(可以由光致抗蚀剂组成)相应点矢量位置之间的差称作。= 。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条