1) plasma ion assisted deposition
等离子辅助沉积
2) plasma ion assisted deposition(PIAD)
等离子源辅助沉积
1.
The application of APS plasma ion assisted deposition(PIAD) in optical coating are described.
阐述了APS等离子体离子辅助沉积(PIAD)在光学镀膜中的应用,通过分析APS等离子源辅助沉积过程中离子束的能量传递过程,讨论了各种工艺条件对离子束辅助沉积薄膜特性的影响,给出了APS等离子源辅助沉积薄膜工艺选择的准则。
3) Plasma enhanced evaporation
等离子体辅助蒸发沉积
4) plasma beam assisted deposition
等离子束辅助沉积
1.
ZnO Thin films were prepared on n-Si(001) substrates by plasma beam assisted deposition (PBAD).
采用等离子束辅助沉积的方法在n-Si(001)衬底上制备出ZnO薄膜。
5) plasma assisted deposition
等离子体辅助沉积
6) ion beam assisted deposition(IBAD)
离子束辅助沉积
1.
The microstructure and morphology of the lead telluride optical thin films prepared by ion beam assisted deposition(IBAD) were observed by atomic force microscopy(AFM).
利用原子力显微镜(AFM)研究了离子束辅助沉积碲化铅(PbTe)薄膜的微观结构和表面形貌。
2.
Hf films were synthesized by ion beam assisted deposition(IBAD).
采用离子束辅助沉积方法 (IBAD)在Si(111)衬底上沉积了铪薄膜。
补充资料：等离子化学气相沉积
分子式：
CAS号：
性质：PCVD 化学气相沉积(CVD)法是制备无机材料，尤其是无机薄膜和涂层的一种重要手段。用等离子辅助CVD，可在较低的温度下沉积，涂层均匀不剥落。
CAS号：
性质：PCVD 化学气相沉积(CVD)法是制备无机材料，尤其是无机薄膜和涂层的一种重要手段。用等离子辅助CVD，可在较低的温度下沉积，涂层均匀不剥落。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条