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1)  sputtered thin-film pressure transducer
溅射薄膜压力传感器
2)  thin film pressure sensor
薄膜压力传感器
1.
In this dissertation, the working principle of the thin film pressure sensor is studied, and the performance of the products is improved through the research and improvement of the chip technique.
本文探讨了薄膜压力传感器的工作原理,通过芯片工艺的研究与改进来提高产品的性能,应用集成电路、补偿软件对传感器误差进行有效补偿,从而提高产品的测量精度与数字化、智能化程度。
3)  piezoelectric film sensor
压电薄膜传感器
1.
By using the properties of output of the new piezoelectric film sensor with hitting force,through the Soc single chip system,we have realized accurately measuring the hitting force,speed and reaction ability.
利用新型压电薄膜传感器输出信号随冲击大小而变化的特性,通过Soc单片机系统,实现了对击打力、击打速度和反应度的准确测量;不但能通过液晶显示器显示测值,而且通过软件实现了对训练机功能的菜单控制;通过语音电路和音箱实现了对测值的语音输出和对训练者的语音提示。
2.
Using the properties of output of the new piezoelectric film sensor with hitting force,through C8054F340 Soc single chip system,we have realized accurately measuring the hitting force,speed and reaction ability.
利用新型压电薄膜传感器输出信号随冲击大小而变化特性,通过C8054F340 Soc单片机系统,实现了对击打力、击打速度和反应度的准确测量;通过液晶显示器不但能显示测值,而且通过软件实现了对训练机功能的菜单控制;通过语音电路和音箱不但实现了对测值的语音输出,而且实现了对训练者的语音提示。
4)  thin-film force sensor
薄膜力敏传感器
5)  sputtering thin films
溅射薄膜
1.
In this paper, the chlorobenzene treatment was adopted in lift-off process of Al and Au sputtering thin films with thickness of 0.
0UM的AL、AU溅射薄膜进行了剥离,分析了光刻胶厚度和薄膜厚度与剥离图形的关系,对剥离过程中氯苯浸泡工艺以及溅射工艺对剥离图形的影响进行了研究,并在2。
6)  thin film sputtering
薄膜溅射
补充资料:差动变压器式压力传感器
      由弹性敏感元件和差动变压器构成的压力传感器。它的弹性敏感元件作为受力机构,把被测压力转换成位移,再用差动变压器把位移转换为与被测压力成一定关系的电信号。差动变压器属于电感式传感器,所以差动变压器式压力传感器又称电感式压力传感器。利用弹性敏感元件的不同形式可制成多种用途的差动变压器式压力传感器。图a中是3种差动变压器式压力传感器的结构示意图。图a中的弹性敏感元件为弹簧管(见波登管),它的自由端与差动变压器的衔铁相连。当压力作用使弹簧管自由端移动时,衔铁随之移动,使差动变压器次级线圈的输出电压发生变化,再通过标定换算即能测出压力。图b中的弹性敏感元件为膜盒。在无压力作用时,接于膜盒自由面中心的衔铁位于差动变压器的中部,使输出电压为零。当压力输入膜盒后,自由面产生一正比于被测压力的位移,并带动衔铁在差动变压器的线圈中移动,从而使差动变压器有一正比于压力的电压输出。这种传感器适于测量微压力,可测量-4×104~6×104巴的压力,输出电压可达50毫伏。图c的弹性敏感元件为膜片。当高压流和低压流分别通过高压阀和低压阀进入高压室和低压室时,膜片在压力差作用下变形,向低压室移动,使连接其上的拉杆带动衔铁移动,从而使差动变压器输出与压差成一定关系的电压信号。
  
  

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