4) Ni-SALICIDE process
镍自对准硅化物工艺
1.
In this paper, Ni-SALICIDE process has been investigated intensively for the application to deep sub-micron COMS devices.
本论文对适用于深亚微米CMOS器件的镍自对准硅化物工艺进行了深入的研究。
5) self aligned polycide
自对准多晶硅化物
补充资料：硅化物
分子式：
分子量：
CAS号：
性质：某些金属（如锂、钙、镁、铁等）和某些非金属（如硼等）与硅形成的二元化合物。一般是晶体，有金属光泽，硬而有高熔点。一种金属或非金属能生成多种硅化物。如铁能生FeSi、FeSi2、Fe2Si5、Fe3Si2、Fe5Si3等。可由金属（或非金属）氧化物或金属硅酸盐用硅在电炉中还原而得。
分子量：
CAS号：
性质：某些金属（如锂、钙、镁、铁等）和某些非金属（如硼等）与硅形成的二元化合物。一般是晶体，有金属光泽，硬而有高熔点。一种金属或非金属能生成多种硅化物。如铁能生FeSi、FeSi2、Fe2Si5、Fe3Si2、Fe5Si3等。可由金属（或非金属）氧化物或金属硅酸盐用硅在电炉中还原而得。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条