1) pressure microsensor
压力微传感器
1.
The fabrication and the test of the diamond pressure microsensor have been discussed.
在Φ50mm〈100〉硅单晶衬底上用热丝CVD法生长本征多晶金刚石薄膜作为绝缘隔离层,通过掩模选择性生长法得到掺硼金刚石薄膜电阻条,再经金属化处理和腐蚀硅压力腔,得到了压阻式金刚石压力微传感器的原型器件。
3) Pressure Sensor
超微压力传感器
5) micro-differential pressure sensor
微压差压力传感器
1.
Due to the influence of the exhaust gas produced by airborne weapons on engine s operational parameter,a micro-differential pressure sensor is developed to measure the signal when the pressure in the air compressor falls suddenly.
针对机载武器发射产生的废气对发动机工作参数的影响,自行研制了微压差压力传感器来测量发动机压气机后压力的突降信号,及时打开防喘系统来防止发动机喘振或停车。
6) Ultraminiatured pressure sensor
超微压压力传感器
补充资料：差动变压器式压力传感器
由弹性敏感元件和差动变压器构成的压力传感器。它的弹性敏感元件作为受力机构，把被测压力转换成位移，再用差动变压器把位移转换为与被测压力成一定关系的电信号。差动变压器属于电感式传感器，所以差动变压器式压力传感器又称电感式压力传感器。利用弹性敏感元件的不同形式可制成多种用途的差动变压器式压力传感器。图a中是3种差动变压器式压力传感器的结构示意图。图a中的弹性敏感元件为弹簧管（见波登管），它的自由端与差动变压器的衔铁相连。当压力作用使弹簧管自由端移动时，衔铁随之移动，使差动变压器次级线圈的输出电压发生变化，再通过标定换算即能测出压力。图b中的弹性敏感元件为膜盒。在无压力作用时，接于膜盒自由面中心的衔铁位于差动变压器的中部，使输出电压为零。当压力输入膜盒后，自由面产生一正比于被测压力的位移，并带动衔铁在差动变压器的线圈中移动，从而使差动变压器有一正比于压力的电压输出。这种传感器适于测量微压力，可测量-4×104～6×104巴的压力,输出电压可达50毫伏。图c的弹性敏感元件为膜片。当高压流和低压流分别通过高压阀和低压阀进入高压室和低压室时，膜片在压力差作用下变形，向低压室移动，使连接其上的拉杆带动衔铁移动，从而使差动变压器输出与压差成一定关系的电压信号。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
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