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1)  4_inch Si/SiO 2 substrate
4英寸热氧化硅衬底
2)  Silica substrate
二氧化硅衬底
3)  SiC substrates
碳化硅衬底
4)  [100]-textured diamond
氧化铝衬底
5)  beryllia substrate
氧化铍衬底
6)  silicon nitride substrate
氮化硅层衬底
补充资料:一氧化硅
      化学式 SiO。白色立方晶体;熔点>1702°C,沸点1880°C,密度2.13克/厘米3。一氧化硅不太稳定,在空气中会氧化成二氧化硅;易溶于强碱溶液,生成硅酸盐并放出氢气。当一氧化硅蒸气缓慢冷凝时会歧化(见歧化反应)而成硅和二氧化硅。一氧化硅能溶于氢氟酸和硝酸的混合酸中并放出四氟化硅。一氧化硅可由二氧化硅在高温下与单质硅作用后迅速冷却制得:
  
  
  固态一氧化硅可作绝缘材料。
  

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