1) self body bias
自体偏压
2) Self-bias voltage
自偏压
1.
Self-bias voltage of the dielectric substrate surface and voltage of the driven electrode were experimentally studied to improve the energy control of impinging ion in plasma processes.
在薄膜沉积和离子束刻蚀技术中,通常要给绝缘基片加上一个射频或脉冲电极,以便在绝缘基片上形成一个自偏压来控制轰击到绝缘基片表面的离子能量。
3) Negative self-bias voltage
自负偏压
5) self bias
自给偏压
6) substrate bias voltage
基体偏压
1.
Influence of substrate bias voltage on friction and wear properties of CrTiAlN coatings;
基体偏压对CrTiAlN镀层摩擦磨损性能的影响
补充资料：自调自净自度
【自调自净自度】
（术语）同自调项。
（术语）同自调项。
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参考词条